推薦讓固結磨料發(fā)揮更大拋光效能

中國粉體網訊 近日，國家知識產權局信息顯示，南京航空航天大學取得一項名為“一種基于固結磨料的第三代半導體晶圓的電化學機械拋光的方法及裝置”的專利，實現(xiàn)了第三代半導體晶圓表面陽極氧化并在線去除的拋光模式。發(fā)明專利申請 來源：國[更多]