推薦讓固結(jié)磨料發(fā)揮更大拋光效能

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，南京航空航天大學(xué)取得一項(xiàng)名為“一種基于固結(jié)磨料的第三代半導(dǎo)體晶圓的電化學(xué)機(jī)械拋光的方法及裝置”的專利，實(shí)現(xiàn)了第三代半導(dǎo)體晶圓表面陽(yáng)極氧化并在線去除的拋光模式。發(fā)明專利申請(qǐng) 來源：國(guó)[更多]