中國粉體網(wǎng)訊 在先進的大規(guī)模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟,圓片需要在多達幾百種的工藝設(shè)備之間來回傳輸并進行加工檢測。在加工過程中,圓片必須被十分平穩(wěn)、固定地安放在工藝設(shè)備上。圖片來源:海拓創(chuàng)新靜電吸盤結(jié)構(gòu)及工作原理傳[更多]
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