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上海奧法美嘉生物科技有限公司
11 年
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上海奧法美嘉生物科技有限公司
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SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀
Entegris在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于半導(dǎo)體制造工藝中 的化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）漿料和配方清潔化學(xué)品的高精度分析儀器的有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的技術(shù)旨在確保復(fù)雜混合化學(xué)品的精確一致性，并在 CMP和配方清潔工藝中實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。
我們的 SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀）是集自動(dòng)取樣、分析和報(bào)告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。全面的在線化學(xué)監(jiān)測(cè)可實(shí)時(shí)校正漿料成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時(shí)，可以快速糾正可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化，有助于滿足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
在全球范圍內(nèi)，我們安裝了近3000套SemiChem APM系統(tǒng)，用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過氧化物的可靠的中心工具，并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學(xué)應(yīng)用中都具有較好的性能，包括：
·銅，鎢，阻擋層和金屬CMP
·制定清潔
·DSP+
·濕法蝕刻，氮化物蝕刻
·平底蝕刻，食人魚蝕刻
·高頻
·廢水
功能與特點(diǎn)
| 經(jīng)驗(yàn)證的標(biāo)準(zhǔn)電化學(xué)技術(shù) | 提供行業(yè)精確的監(jiān)控，以保證過程化學(xué)成分和完整性 |
| 提供化學(xué)濃度數(shù)據(jù)，使?jié){料/化學(xué)分配系統(tǒng)能夠提供準(zhǔn)確的化學(xué)濃度 | |
| 在線的，接近實(shí)時(shí)檢測(cè)的系統(tǒng) | 檢測(cè)揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差，防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞 |
| 將實(shí)驗(yàn)室技術(shù)過渡到在線，實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的在線控制 | |
| 堅(jiān)固耐用的工業(yè)設(shè)計(jì) | 維持至少8500小時(shí)平均工作時(shí)間 |
| 可經(jīng)受嚴(yán)峻的工業(yè)環(huán)境 |
規(guī)格
| 分析方法 | 電位測(cè)定法，標(biāo)準(zhǔn)加成法，光度測(cè)定法 |
| 電位測(cè)量的準(zhǔn)確性* | 顯示值的±0.2% |
| 標(biāo)準(zhǔn)添加的準(zhǔn)確性* | 顯示值的±2.0% |
| 電位測(cè)量精度* | ±0.2%相對(duì)誤差 |
| 標(biāo)準(zhǔn)添加精度* | ±2.0%相對(duì)誤差 |
| 測(cè)量時(shí)間 | >5分鐘/次（取決于應(yīng)用程序） |
| 校準(zhǔn)間隔 | 啟動(dòng)時(shí)** |
| 樣品消耗 | <5 mL/次 |
| 進(jìn)樣量 | 0.05-5 mL（取決于應(yīng)用） |
| 進(jìn)樣溫度 | **93°C（200°F） |
| 耗水量 | <1000 mL/分析 |
| 樣品進(jìn)樣/排樣 | <207 kPa（30 psi），0.5 L/min |
| 1/4" OD擴(kuò)口接頭，1" FPT安全殼聯(lián)軸器 | |
| 去離子水 | 138至276 kPa（20至40 psi） |
| 2.0升/分鐘 | |
| 外徑 1/4" 擴(kuò)口接頭 | |
| CDA | 414-552 kPa（60-80 psi） |
| 1/4" 外徑快速接頭 | |
| 排水 | 工藝：3/4“NPT重力排水管 機(jī)柜：1/2“NPT重力 |
| 電源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A現(xiàn)場(chǎng)可切換 |
| 廢氣 | 外徑1 7/8" @ 17 CFM |
| 標(biāo)準(zhǔn)功能 | 可選功能 |
·四個(gè)4-20 mA模擬輸出 ·八個(gè)可編程繼電器 ·以太網(wǎng)和RS232串行 ·彩色觸摸屏 ·單個(gè)測(cè)量單元 ·綜合試劑儲(chǔ)存 ·單個(gè)采樣點(diǎn) ·一個(gè)5 mL數(shù)字滴定管 ·多傳感器輸入 | ·多個(gè)采樣點(diǎn) ·額外的5 mL數(shù)字滴定管 ·附加傳感器 ·安全聯(lián)鎖裝置 ·試劑微量檢測(cè) |
尺寸
SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀的工作原理介紹？SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀的使用方法？SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀多少錢一臺(tái)？SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀使用的注意事項(xiàng)SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀的說明書有嗎？SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀的操作規(guī)程有嗎？SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀有現(xiàn)貨嗎？SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀包安裝嗎？相關(guān)產(chǎn)品
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企業(yè)名稱
上海奧法美嘉生物科技有限公司企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91310115560134824G法人代表
劉月賓注冊(cè)地址
上海市閔行區(qū)新駿環(huán)路588號(hào)23幢402室成立日期
2010-08-09注冊(cè)資本
500萬(元)有效期限
2010-08-09 至 2030-08-08
經(jīng)營(yíng)范圍
從事生物科技、醫(yī)藥科技、計(jì)算機(jī)科技、系統(tǒng)集成科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù)，儀器儀表、化工產(chǎn)品（除危險(xiǎn)品）及中間體的研發(fā)，儀器儀表、電子產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、制造、維修服務(wù)，設(shè)備租賃，計(jì)算機(jī)維修，化工原料及產(chǎn)品（除危險(xiǎn)化學(xué)品、監(jiān)控化學(xué)品、煙花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化學(xué)品）、化妝品、日用品、五金交電、電氣設(shè)備、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品、計(jì)算機(jī)、儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室儀器的銷售，房屋租賃，從事貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)，商務(wù)信息咨詢，質(zhì)檢技術(shù)服務(wù)，認(rèn)證服務(wù)?！疽婪毥?jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】
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