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儀器簡介：
 橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學測量技術，基于測量線偏振光經過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學性質等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過率。

技術參數(shù)：

       * 光譜范圍: 190-885 nm（可擴展至2100nm）
       * 微光斑可選50μm-100μm-1mm
       * 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
       * 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選
       * 自動量角器：變角范圍40° - 90°，全自動調整，小步長0.01°

主要特點：
       * 50KHz 高頻PEM 相調制技術，測量光路中無運動部件
       * 具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率
       * 具有毫秒級超快動態(tài)采集模式，可用于在線實時監(jiān)測
       * 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件
       * 配置靈活