中國粉體網(wǎng)訊  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是關(guān)乎國家經(jīng)濟(jì)、政治和國防安全的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，制造裝備具有極其重要的戰(zhàn)略地位。以光刻機(jī)為代表的半導(dǎo)體關(guān)鍵裝備是現(xiàn)代技術(shù)高度集成的產(chǎn)物，其設(shè)計(jì)和制造過程均能體現(xiàn)出包括材料、機(jī)械加工等在內(nèi)的諸多相關(guān)科學(xué)領(lǐng)域的最高水平。例如，對于材料而言，半導(dǎo)體制造關(guān)鍵裝備要求零部件材料具有輕質(zhì)高強(qiáng)、高導(dǎo)熱系數(shù)和低熱膨脹系數(shù)等特點(diǎn)，且致密均勻無缺陷。 圖片來源：pexels其中，精密陶瓷就是最具代表性半導(dǎo)體精密部件材料。何為半導(dǎo)體精密部件？半導(dǎo)體零部件是指在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達(dá)到了半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求的零部件，如 O 型密封圈、傳送模塊、射頻電源、靜電吸盤、硅/..【詳細(xì)】