看了超高速分光干渉式膜厚儀的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝，超高速、實時、高精度測量晶圓和樹脂
產(chǎn)品詳細(xì)信息
特點
非接觸式，非破壞性厚度測量
反射光學(xué)系統(tǒng)（可從一側(cè)接觸測量）
高速（**5 kHz）實時評測
高穩(wěn)定性（重復(fù)精度低于0.01％）
耐粗糙度強(qiáng)
可對應(yīng)任意距離
支持多層結(jié)構(gòu)（*多5層）
內(nèi)置NG數(shù)據(jù)消除功能
可進(jìn)行距離（形狀）測量（使用配件嵌入式傳感器）*
*通過測量測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離
Point1：獨有技術(shù)
對應(yīng)廣范圍的薄膜厚度并實現(xiàn)高波長分辨率。
采用大塚電子獨有技術(shù)制成緊湊機(jī)身。
Point2：高速對應(yīng)
即使是移動物體也可利用準(zhǔn)確的間距測量，
是工廠生產(chǎn)線的理想選擇。
Point3：各種表面條件的樣品都可對應(yīng)
從20微米的小斑點到
各種表面條件的樣品，都可進(jìn)行厚度測量。
Point4：各種環(huán)境都可對應(yīng)
因為*遠(yuǎn)可以從200 mm的位置進(jìn)行測量，
所以可根據(jù)目的和用途構(gòu)建測量環(huán)境。
測定項目
厚度測量（5層）
用途
各種厚膜的厚度
式樣
| 型號 | SF-3/200 | SF-3/300 | SF-3/1300 | SF-3/BB |
|---|---|---|---|---|
| 測量厚度范圍? | 5～400 | 10～775 | 50～1300 | 5～775 |
| 樹脂厚度范圍? | 10～1000 | 20～1500 | 100～2600 | 10～1500 |
| *小取樣周期kHz（μsec） | 5（200）※1 | - | ||
| 重復(fù)精度% | 0.01%以下※2 | |||
| 測量點徑? | 約φ20以上※3 | |||
| 測量距離mm | 50.80.120※4.200※4 | |||
| 光源 | 半導(dǎo)體光源（クラス３Ｂ相當(dāng)） | |||
| 解析方法 | FFT解析，*適化法※5 | |||
| interface | LAN，I/O入輸出端子 | |||
| 電源 | DC24V式樣（AC電源另行銷售） | |||
| 尺寸mm | 123×128×224 | 檢出器：320×200×300 光源：260×70×300 | ||
| 選配 | 各種距離測量探頭，電源部（AC用），安全眼睛 鋁參考樣品，測量光檢出目標(biāo)，光纖清理器 | |||
＊1 ： 測量條件以及解析條件不同，*小取樣周期也不同。
＊2 ： 是產(chǎn)品出貨基準(zhǔn)的保證值規(guī)格，是當(dāng)初基準(zhǔn)樣品AirGap約300μm和
約1000μm測量時的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mm探頭式樣時的設(shè)計值
＊4 ： 特別式樣
＊5 ： 薄膜測量時使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300
基本構(gòu)成
測定例
貼合晶圓
Mapping結(jié)果
研削后300mm晶圓硅厚度
暫無數(shù)據(jù)！
顯微分光膜厚儀“OPTM”O(jiān)PTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀，測試膜厚、折射率n、消光系數(shù)k、絕對反射率的新型高精度、高性價比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測試，并有獨家專利可針對透明
Zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng)ELSZneoELSZneo是ELSZseries的最高級機(jī)型，除了在稀薄溶液~濃厚溶液中進(jìn)行zeta電位（ZetaPotential，ζ-電位）和粒徑測定之外，還能
大塚電子利用光技術(shù)，開發(fā)出各種分析測量裝置，給客戶提供尖端測量技術(shù)支持。以測量技術(shù)、應(yīng)用示例等重點介紹為主，定期舉辦Webinar(網(wǎng)絡(luò)研討會)。
超高速分光干渉式膜厚儀的工作原理介紹？超高速分光干渉式膜厚儀的使用方法？超高速分光干渉式膜厚儀多少錢一臺？超高速分光干渉式膜厚儀使用的注意事項超高速分光干渉式膜厚儀的說明書有嗎？超高速分光干渉式膜厚儀的操作規(guī)程有嗎？超高速分光干渉式膜厚儀的報價含票含運費嗎？超高速分光干渉式膜厚儀有現(xiàn)貨嗎？超高速分光干渉式膜厚儀包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實
