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公斤級(jí)粉末原子層沉積鍍膜系統(tǒng)
詳情介紹：
KG 系列粉末ALD包覆設(shè)備可用于電池、催化劑、磁性材料等材料的高精度包覆量產(chǎn)。
該系統(tǒng)能夠包覆原子層級(jí)到納米層級(jí)的范圍內(nèi)的厚度，具有超高靈敏度、均一性和重復(fù)性， 并具有高自動(dòng)化程度，操作方便、擴(kuò)展靈活。
技術(shù)參數(shù)：
均一性 < 3%
工藝溫度 RT-300℃
極限壓力 < 500mTorr
罐體容積近60L，百公斤級(jí)別/批次
1、樣品裝載量最大每批次可達(dá)百公斤，大幅降低生產(chǎn)制造成本；
2、立式提料分散，配合底部進(jìn)氣方案，保證粉體與前驅(qū)體充分接觸，有效提高包覆均勻性和高覆蓋率；
3、可提升量子點(diǎn)、鋰電池、催化劑等的循環(huán)壽命、安全性以及耐溫耐壓性。
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