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技術(shù)參數(shù) ：
1樣品**裝載量：100g(可根據(jù)需求定制), 也可放置3D基體及多片平片
2樣品反應(yīng)溫度：RT-300oC
3前驅(qū)體：**可包括2組反應(yīng)氣體8組液態(tài)或固態(tài)反應(yīng)前驅(qū)體,
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