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臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)

參考價(jià)格

100-150萬元

型號(hào)

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)

品牌

頂立科技

產(chǎn)地

湖南

樣本

暫無
湖南頂立科技股份有限公司

金牌會(huì)員

|

第12年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±7.5
  • 最高溫度:

    -1500
  • 額定溫度:

    -1500
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臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

采用智能壓力調(diào)控,壓力波動(dòng)??;

全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;

可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時(shí)間短,生產(chǎn)效率高;

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號(hào)HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作區(qū)尺寸 
W×H×L(mm)
600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
**溫度(℃)150015001500150015001500
溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10±10
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。


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產(chǎn)品質(zhì)量

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10分

易用性

10分

性價(jià)比

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評(píng)論內(nèi)容
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