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ETD-100AF型高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀
采用電阻式蒸發(fā)原理，利用大電流加熱鉬舟或鎢絲藍(lán)或固定支架上的鍍膜材料，使其在高真空下蒸發(fā)，沉積在被鍍樣品上以獲得**鍍膜效果。 適用范圍： 電子顯微鏡樣品制備和清潔光欄，以及科研、教學(xué)和企業(yè)中的實驗活動、工藝試驗。 使用了大抽速、高壓縮比、自然風(fēng)冷卻復(fù)合分子泵，確保噴鍍時能夠迅速抽掉蒸發(fā)源和樣品放出的氣體；正常情況下噴鍍室內(nèi)極少有油蒸氣回流，非常清潔。
配有高位定性的飛躍真空泵，渦輪分子泵
ETD-100AF is a high vacuum thermal evaporation type small film coating machine. By using the principle of resistance evaporation， the coating material on the molybdenum boat or tungsten blue or fixed bracket is heated by high current， so that it is evaporated under high vacuum and deposited on the plated sample to obtain the best coating effect. Scope of application: Sample preparation and cleaning of optical microscope， as well as scientific research， teaching and experimental activities and process tests in enterprises. A compound molecular pump with large pumping speed， high compression ratio and natural wind cooling is used to ensure that the evaporation source and the gas from the sample can be removed quickly when the spray plating is sprayed.
| 機(jī)械泵 | 靶材 | 蒸發(fā)電流 | 加熱功率 | 樣品倉尺寸 | 工作真空 | 極限真空 |
| 前級為飛躍真空泵，后級為復(fù)合分子泵 | 碳、金等 | **電流 100A，**電壓10V | 1000W | 直徑230mm，高280mm | 2*10Pa | 2*10Pa |
需要鍍膜的樣品
| 電子束敏感的樣品 | 非導(dǎo)電的樣品 | 新材料 |
| 主要包括生物樣品，塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用，防止此類損傷； | 由于樣品不導(dǎo)電，其表面帶有“電子陷阱”，這種表面上的電子積累被稱為“充電”。為了消除荷電效應(yīng)，可在樣品表面鍍一層金屬導(dǎo)電層，鍍層作為一個導(dǎo)電通道，將充電電子從材料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷電效應(yīng)。在掃描電鏡成像時，濺射材料增加信噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。 | 非導(dǎo)電材料實驗電極制作觀察導(dǎo)電特性 |
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