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SVT Excel系列蒸發(fā)源在高真空或超高真空系統(tǒng)中，適用于生長有機化合物材料或蒸汽壓非常高的材料。
所有的源**溫度是600oC，采用熱口設計，K型熱偶。
對于4.5’’或更大接口的源，水冷卻罩和集成擋板可選。
●用于有機化合物材料以及高蒸汽壓材料
●熱口設計
●多種法蘭尺寸可選
溫度范圍 | 0 oC-600 oC |
功率 | 600W-1KW |
溫度穩(wěn)定性 | +/-0.1oC |
溫度重復性 | +/-0.1oC |
熱偶 | K型 |
坩堝容量 | *16cc，20cc，22cc， 40cc，60cc，150cc (有錐形壁坩堝均一性更高， PBN坩堝) |
標準長度 | *12’’(762.5px) |
法蘭接口 | 2.75’’或4.5’’OD-CF |
電接插件 | 燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 T/C:Omega亞微型 |
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