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美國(guó)SVT公司CIGS銅銦鎵硒系統(tǒng)
35-V-100是薄膜沉積精密設(shè)備，是適用于4英寸襯底的CIGS研發(fā)型設(shè)備
SVTA-CIGS-30是生產(chǎn)型系統(tǒng)
還可提供各種大容量生產(chǎn)型的S/Se源，包括點(diǎn)源（200CC-2000CC）和線性源（8000CC）
*多可放6個(gè)樣品
可靠地高溫襯底加熱器
多重泵抽組合包含Se trap
關(guān)于襯底操作還可以添加集群腔室，便于以后升級(jí)
*多容納10個(gè)源
先進(jìn)的在線監(jiān)控儀
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