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生長(zhǎng)操作器和制備臺(tái)UHV 兼容。尺寸包括1’’到8’’。集成主擋板可選。操作器可以xyz三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)。樣品托集成在操作器上?？蛇m用于氨氣、氧氣等腐蝕性環(huán)境。

●磁耦合旋轉(zhuǎn)

●旋轉(zhuǎn)精度高

●氧環(huán)境下兼容可選

●氨環(huán)境下兼容可選

●襯底加熱溫度可達(dá)1，400 ^oC

X-Y方向移動(dòng)

精度0.001

重復(fù)性0.001

反沖 0

移動(dòng)行程+/-0.5’’

Z方向移動(dòng)

精度1mm 或¹/₃₂比例

重復(fù)性1mm 或¹/₃₂比例

反沖0

行程4.0’’

水平旋轉(zhuǎn)

精度1.25^o

反沖<1 ^o

持續(xù)360 ^o旋轉(zhuǎn)