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AccuTemp(In-Situ 4000)工藝監(jiān)控儀可以閉環(huán)監(jiān)控與控制多層薄膜生長。
用于MBE、MOCVD以及CIGS等系統(tǒng)中。
AccuTemp提供實時、準確的工藝信息，包括襯底溫度、薄膜厚度、生長速率。
該儀器放置在一個觀察窗上。
采用雙色紅外高溫測量儀測量溫度，該測量儀對觀察窗口的附著物不敏感，還可以校準誤差。
另一部件輻射儀，用來補償發(fā)射率的變化，糾正高溫測量儀的溫度測量值。
Bandgap模塊可選，它可以監(jiān)控很低的襯底溫度，還可以進行高溫測量儀的簡單校準。兩個獨立的光學反射信號用于分析并實時提供厚度、生長速率及折射系數。
典型應用
AccuTemp典型應用于 GaN，GaAs，ZnO，CIGS，Si， ZnTe，SiC，MCT以及STO。
AccuTemp 既可用于研究型設備也可用于生產型設備。
Bandgap模塊可以使IS4K測量低于高溫計范圍的材料溫度，例如在生長GaAs、GaSb及Si材料時可以使用。
特點
●一個窗口就可以同時、實時測量溫度和厚度
●采用雙波長用于穿過窗口涂層，進行透明度補償
●采用發(fā)射率補償，提供真實溫度
●閉環(huán)控制
●Bandgap模塊用于低溫測量和校準
高溫儀溫度范圍 | 450oC - 1，300oC |
Bandgap模塊 | 室溫 - 700oC |
襯底材料 | Si， GaAs， InP， 藍寶石，STO，Gasb，MCT等 |
輻射儀波長 | 950，850nm |
噪聲等效溫差 | <0.5oC |
反射儀波長 | 950，470nm |
噪音等效厚度差 | <1nm @ film>100nm |
靶距離范圍 | >7mmΦ |
測量斑點大小 | 1KW-5KW |
觀察窗 | 2.75''CF(4.5''CF如果帶邊) |
尺寸 | 100×140×130mm |
對正方法 | 視頻監(jiān)控器 |
計算機要求 | Windows XP， 序列端口界面 |
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