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美國SVT襯底溫度速率測量儀(工藝監(jiān)控儀) /AccuTemp
美國SVT襯底溫度速率測量儀(工藝監(jiān)控儀) /AccuTemp

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美國

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美國SVTA公司中國辦事處

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AccuTemp(In-Situ 4000)工藝監(jiān)控儀可以閉環(huán)監(jiān)控與控制多層薄膜生長。

用于MBE、MOCVD以及CIGS等系統(tǒng)中。

AccuTemp提供實時、準確的工藝信息,包括襯底溫度、薄膜厚度、生長速率。

該儀器放置在一個觀察窗上。

采用雙色紅外高溫測量儀測量溫度,該測量儀對觀察窗口的附著物不敏感,還可以校準誤差。

另一部件輻射儀,用來補償發(fā)射率的變化,糾正高溫測量儀的溫度測量值。

Bandgap模塊可選,它可以監(jiān)控很低的襯底溫度,還可以進行高溫測量儀的簡單校準。兩個獨立的光學反射信號用于分析并實時提供厚度、生長速率及折射系數。

典型應用

AccuTemp典型應用于 GaN,GaAs,ZnO,CIGS,Si, ZnTe,SiC,MCT以及STO。

AccuTemp 既可用于研究型設備也可用于生產型設備。

Bandgap模塊可以使IS4K測量低于高溫計范圍的材料溫度,例如在生長GaAsGaSbSi材料時可以使用。

特點

一個窗口就可以同時、實時測量溫度和厚度

采用雙波長用于穿過窗口涂層,進行透明度補償

采用發(fā)射率補償,提供真實溫度

閉環(huán)控制

Bandgap模塊用于低溫測量和校準

高溫儀溫度范圍

450oC - 1,300oC

Bandgap模塊

室溫 - 700oC

襯底材料

Si, GaAs, InP, 藍寶石,STO,Gasb,MCT等

輻射儀波長

950,850nm

噪聲等效溫差

<0.5oC

反射儀波長

950,470nm

噪音等效厚度差

<1nm @ film>100nm

靶距離范圍

>7mmΦ

測量斑點大小

1KW-5KW

觀察窗

2.75''CF(4.5''CF如果帶邊)

尺寸

100×140×130mm

對正方法

視頻監(jiān)控器

計算機要求

Windows XP, 序列端口界面

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