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快速退火爐
快速退火爐

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產地

法國

樣本

暫無
German First-Nano System 德國韋氏納米

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AS-One系統有兩種型號: AS-One 100 系統或AS-One 150 系統

快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規(guī)模生產的需求而研制的,高可靠且性價比高。

該工藝室采用貝殼式設計,可完全進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體

快速數字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。

特征
基本尺寸:

Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100

Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150

Small substrates using susceptors

工藝腔體運用不銹鋼冷腔室壁技術
溫度范圍標準配置:**達到1250°C

高溫配置:**達到1450°C

溫度控制

標準配置:熱電偶和高溫計用來測量溫度

快速數字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復的熱控制

真空和氣體*多可達5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體
電腦控制

全PC電腦控制,每個配方*多100步驟

全數據記錄與處理歷史的人機界面設計

選項:

石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統/其他套件

應用:

● 快速熱退火

快速熱氧化

擴散/接觸時退火

化合物退火

結晶或致密化

我公司專業(yè)銷售Annealsys產品,并提供Annealsys產品的售前售后服務,如您對Annealsys產品感興趣,歡迎前來咨詢!

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10分

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10分

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10分

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