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Tergeo等離子清洗機
Tergeo等離子清洗機

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產(chǎn)地

美國

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暫無
German First-Nano System 德國韋氏納米

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Tergeo等離子清洗機

特 征:

● 模式:直接浸泡式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性;

遠程等離子體可以輕微的清除表面污染,如SEM/TEM樣 品清洗

● 操作:自動配方執(zhí)行;自動作業(yè)順序執(zhí)行;亦手動控制

● 等離子傳感器:雙等離子強度傳感器(**申請中)實時監(jiān)測

等離子源和遠程等離子源且等離子強度實時顯示LCD觸摸屏上

● 先進工藝控制:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配

● 腔體材料:鋁法蘭,石英腔體

● 石英腔體尺寸:內(nèi)徑:110mm;深280mm

● 樣品架:2mm厚高純度石英板

● 射頻天線:外部射頻電極和天線設(shè)計減少了內(nèi)部金屬電極 在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題

● 射頻功率:13.56mhz射頻電源,自動阻抗匹配

射頻功率有兩種選擇:0-75watt和0-150watt

● 工藝氣路:高達三個MFC氣路

● 用戶界面:7寸電阻式觸摸屏

● 軟件:總共20個可定制的配方。每個工藝多達三個步驟

Direct & downstream 清洗模式

典型的應(yīng)用:

  • 引線鍵合倒裝芯片底部填充,器件的封裝和解封

  • 光刻膠灰化、除渣、硅片清洗

  • PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗

  • 去除的掃描電鏡/電鏡樣品上碳氫污染物

  • 改善金屬與金屬或復(fù)合材料的結(jié)合

  • 改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘接

PDMS/玻璃鍵合的應(yīng)用筆記

Recipe :

PDMS bonding: RF power 15Watt

RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air

Flow rate: 5sccm

Time: 30~60 seconds

Figure 1 經(jīng)過等離子體處理后,PDMS立即與玻璃結(jié)合,界面截留的氣體被自動擠出,無需在烤箱里固化PDMS/玻璃膠幾個小時。

Figure 2,粘合一分鐘后,用戶試圖測試PDMS/玻璃粘合度,由于粘合非常牢固,即使由于強大的拉力部分PDMS被撕掉之后,PDMS/玻璃粘合界面仍然完好無損。

我公司專業(yè)銷售PIE Plasma 產(chǎn)品,并提供PIE Plasma產(chǎn)品的售前售后服務(wù),如您對PIE Plasma產(chǎn)品感興趣,歡迎前來咨詢!

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10分

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