遠(yuǎn)程控制等離子清洗機(jī)

型號：EM-KLEEN

用于電子顯微鏡等分析儀器如SEM、FIB、TEM樣品室的清潔、XPS和SIMS、ASE 系統(tǒng)

源于勞倫斯伯克利國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的SmartClean^TM

技術(shù)，設(shè)計(jì)精巧，智能，功能強(qiáng)大

EM-KLEEN 構(gòu)成：

Pirani壓力傳感器 ：實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品室壓力，可以作為安全模式的安全聯(lián)鎖觸發(fā)器，并未功能計(jì)數(shù)器加載事件

自動(dòng)氣體流量控制器 ：很容易真空抽到10-7 Torr，自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量

等離子強(qiáng)度傳感器 ：用戶可實(shí)時(shí)監(jiān)測等離子強(qiáng)度狀態(tài)

溫度傳感器 : 提供聯(lián)鎖保護(hù)，防止長時(shí)間工作電源工作溫度過高

冷卻風(fēng)扇 ：大功率風(fēng)冷冷卻，而不會(huì)導(dǎo)致電源過熱

液晶觸摸屏控制器 ：嵌入式微處理器，串聯(lián)工作，自動(dòng)控制系統(tǒng)，并為客戶提供保護(hù)

如何在真空環(huán)境中清除碳?xì)浠衔镂廴疚铮?/span>

應(yīng)用領(lǐng)域

SEM腔體清洗10分鐘前后的變化對比

6分鐘快速去除碳標(biāo)記