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SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項(xiàng)，我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測試，IV / CV測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。
使用MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行IV，CV和低電流測試，可提供半導(dǎo)體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項(xiàng)和MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)的靈活性，晶圓上的晶圓級(jí)電容和低電流測試從未如此簡單。
特征
手動(dòng)平臺(tái)組裝可提供額外的預(yù)載滑塊，便于裝載和卸載晶圓或樣品。
手動(dòng)控制壓板和卡盤Z位置，進(jìn)行粗調(diào)和微調(diào)。
光滑的鑄鋼壓板可容納多達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器。
同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。
標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級(jí)定位
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級(jí)定位。
可用的RF選項(xiàng)包括可定制的RF探頭，RF卡盤和屏蔽罩。
型號(hào) | SPS-1000 | SPS-2000 | SPS-2200 |
晶圓尺寸 | 高達(dá)150mm | 高達(dá)100mm | 高達(dá)200mm |
XY舞臺(tái)行程 | 100mmx100mm或150mmx150mm標(biāo)準(zhǔn) | 高達(dá)125mmx125mm | 高達(dá)200mmx200mm |
系統(tǒng)尺寸 | 56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高 | 92米寬x 122厘米深x 92厘米高 | |
系統(tǒng)重量 | 35kg至45kg，具體取決于所選的選項(xiàng) | ~70公斤 |
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