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隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用MicroXact的半自動探針臺進行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進行進一步的和廣泛的故障分析。
系統(tǒng)構(gòu)建在一個重型，通用的平臺上，能夠配置為處理各種探測應(yīng)用。
電動XY夾頭，SPS-2600中的電動壓板，SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動，標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。
基于伺服電機的直線光柵尺。
**成本競爭力，非常快速，高效的解決方案
強烈推薦用于中等規(guī)模生產(chǎn)或其他吞吐量很重要的應(yīng)用
型號 | SPS-12000-HS | SPS-2800-HS | SPS-2600-HS |
晶圓尺寸 | 高達(dá)300mm | 高達(dá)200mm | 高達(dá)100mm |
電機類型 | 伺服電機 | ||
顯微鏡 | 高品質(zhì)立體聲變焦，工作距離可達(dá)200mm，放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
系統(tǒng)尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
暫無數(shù)據(jù)！
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