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B7340手動(dòng)型離子濺射儀
B7340手動(dòng)型離子濺射儀

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英國(guó)

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邁可諾技術(shù)有限公司

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英國(guó)Agar Scientific:B7340手動(dòng)型離子濺射儀

易于使用的基本濺射涂布機(jī),用于SEM樣品的金涂層

這是一種易于使用的基本儀器,用于SEM樣品的金涂層。它具有完全可變的電流控制,帶暫停選項(xiàng)的數(shù)字處理計(jì)時(shí)器,可變高度的樣品臺(tái),鉸接頂板和O形密封真空室。該控制允許濺射電流獨(dú)立于氣體壓力設(shè)定,氣體壓力可通過(guò)手動(dòng)泄漏閥單獨(dú)調(diào)節(jié)。覆蓋率和粒度針對(duì)任何樣品進(jìn)行了優(yōu)化。具有57mm直徑目標(biāo)的冷磁控管型頭可以在*小的加熱下實(shí)現(xiàn)高效濺射。涂布時(shí)間由帶有數(shù)字讀數(shù)的定時(shí)器設(shè)定并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中。真空狀態(tài)和濺射電流顯示在面板儀表上。

模塊化桌面設(shè)計(jì)將濺射控制單元,泵送系統(tǒng)和厚度監(jiān)視器組合在一個(gè)僅400 x 600mm的區(qū)域內(nèi)。它采用快速釋放全金屬耦合系統(tǒng)完全集成??烧{(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)*多可接受12針型短柱,也可用作其他類型短柱和樣品的平臺(tái)。為可選的膜厚監(jiān)控器提供真空饋通。

Agar手動(dòng)噴金儀(離子濺射儀)為英國(guó)進(jìn)口設(shè)備,操作簡(jiǎn)單,適用于掃描電鏡樣品制備,可噴金、鉑、金/鈀、鉑/鈀、銀等。

噴金儀使用小貼士:

1)需要濺射噴金的樣品

a)一類樣品是電子束敏感的樣品,主要包括生物樣品,塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過(guò)程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料,那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用,防止此類損傷;

b)另一類樣品是非導(dǎo)電的樣品,由于樣品不導(dǎo)電,其表面帶有“電子陷阱”,這種表面上的電子積累被稱為“充電”。為了消除荷電效應(yīng),可在樣品表面鍍一層金屬導(dǎo)電層,鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電通道,將充電電子從材料表面轉(zhuǎn)移走,消除荷電效應(yīng)。在掃描電鏡成像時(shí),濺射材料可以增加信噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。

2)濺射材料

常用的濺射材料為金,導(dǎo)電性高。

噴金儀的真空度越高,所濺射的金屬顆粒越小,可以減少樣品表面形貌失真的情況。當(dāng)需要超高分辨率成像時(shí),選擇高真空噴金儀,同時(shí)還可以選用其他濺射材料,如:鉻,銥等,濺射的晶粒更細(xì)小。

規(guī)格

室大小 120mm?x120mm高(4.75“x 4.75”)

濺射頭 低壓平面磁控管

快速改變目標(biāo)

環(huán)繞式暗空間護(hù)罩

濺射目標(biāo) 金標(biāo)配(Au / Pd或Pt可選)

57毫米直徑x 0.1毫米厚

濺射供應(yīng) 基于微處理器

安全聯(lián)鎖

電流控制獨(dú)立于真空

可變10 - 40mA

外形尺寸 W 420mm(16.5“),D 295mm(11.6”),H 287mm(11.3“)

重量 10公斤(22.1磅)

功率 *大40VA(不包括旋轉(zhuǎn)泵)

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10分

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