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Filmetrics 薄膜厚度測(cè)量?jī)x測(cè)厚儀
F80-C膜厚測(cè)量?jī)x使生產(chǎn)晶片的測(cè)量變得簡(jiǎn)單實(shí)惠
工藝工程師希望薄膜厚度測(cè)量是快速容易的，現(xiàn)在高精度的厚度成像技術(shù)讓 Filmetrics 可以快速建立配方，并且擁有行業(yè)**的測(cè)試速度，而且價(jià)格僅僅是同行業(yè)測(cè)量設(shè)備的小部分。 F80 可以應(yīng)用在化學(xué)機(jī)械拋光、化學(xué)氣相沉積、蝕刻等工藝中，這是晶片追索工藝工程師所期待的。
新技術(shù)= 低成本
與傳統(tǒng)的測(cè)量工具不同， F80 不需要高精度的移動(dòng)硬件去找尋微小的測(cè)試 pads，相反的，它可以快速的測(cè)量每個(gè) pad 附近數(shù)以千計(jì)點(diǎn)的厚度，然后處理“厚度成像”結(jié)果，進(jìn)而找到正確的厚度?？梢杂行У奶鎿Q昂貴的移動(dòng)硬件，進(jìn)而節(jié)約很高的成本。
使用****的方便
因?yàn)槭褂煤穸瘸上窦夹g(shù)， F80 不依賴(lài)過(guò)時(shí)的基于視頻的圖像識(shí)別技術(shù)，這意味著在 CMP 應(yīng)用中通常會(huì)遇到的前后表面光對(duì)照比不同的問(wèn)題，在 F80 系統(tǒng)中是不存在的。 也意味著配方的建立更自動(dòng)化和直觀，數(shù)據(jù)可以及時(shí)存，從而節(jié)省了時(shí)間，訓(xùn)練及減少誤操作引發(fā)的錯(cuò)誤。
快速
因?yàn)楹穸瘸上窦夹g(shù)， 300 毫米晶片在 F80 上掃描 21 點(diǎn)僅僅只需要 29 秒的時(shí)間，非?？焖?。
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