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測(cè)量技術(shù)
測(cè)試程序和質(zhì)量保證
光子
光纖定位
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)
PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)振動(dòng)和沖擊不敏感。它們真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量,完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。
德國(guó)Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,一直致力于微米與納米定位技術(shù)的研發(fā)與制造。PI代表著技術(shù)性能,定位精度可達(dá)納米。PI可獲得的組件獨(dú)立于市場(chǎng)上,并提供超越現(xiàn)有技術(shù)水平的單獨(dú)解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 Physik Instrumente提供了超越全球競(jìng)爭(zhēng)的技術(shù)范圍和垂直生產(chǎn)范圍。然而,PI重要的關(guān)注是通過定位解決方案不斷地激勵(lì)客戶。今天,無論是在計(jì)量、顯微,生命科技,還是激光技術(shù),精密加工技術(shù);無論是半導(dǎo)體科技,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù),還是光電子/光纖,天文等領(lǐng)域,PI的產(chǎn)品和技術(shù)正得到越來越廣泛的應(yīng)用,也贏得了越來越廣泛的贊譽(yù)。 Physik Instrumente (PI)主要產(chǎn)品: 線性平臺(tái)和執(zhí)行器 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和測(cè)角器 XY平臺(tái) 六足/平行運(yùn)動(dòng) XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺(tái),提示/傾斜鏡和有源光學(xué) 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執(zhí)行器 控制器和驅(qū)動(dòng)器 空氣軸承導(dǎo)向系統(tǒng) 主要型號(hào): E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91
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