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專為超大納米平板掃描器測量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡系統(tǒng)
隨著對(duì)大型平板顯示器原子力顯微鏡計(jì)量需求的增加,Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺(tái)的結(jié)合,克服了針對(duì)大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)。
Park NX-TSH能獲得關(guān)于表面粗糙度,臺(tái)階高度,關(guān)鍵尺寸和側(cè)壁信息的高分辨率圖像和數(shù)據(jù),從而為大型納米級(jí)尺寸樣品測量提供**解決方案。
• 可靈活掌握自動(dòng),半自動(dòng)和手動(dòng)模式
• 為每個(gè)自動(dòng)化程序提供可編輯測量方法
• 實(shí)時(shí)監(jiān)控測量過程
• 自動(dòng)分析獲取測量數(shù)據(jù)
- 自動(dòng)換針器(ATX)
ATX通過模式識(shí)別自動(dòng)定位探針,并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動(dòng)定位技術(shù)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。
-電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境
Park創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡,因此可以創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境,幾乎不污染周圍區(qū)域,并且將在樣品處理過程中產(chǎn)品意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至*低。
Park NX-TSH技術(shù)參數(shù):
*本技術(shù)參數(shù)是可定制的??勺稍働ark原子力顯微鏡,以獲取更多信息。
系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
樣品尺寸: 520 mm X 520 mm X12 mm, 10kg
電動(dòng)式X方向載物臺(tái):行程可達(dá)625 mm,±3 μm分辨率
電動(dòng)式Y(jié)方向載物臺(tái):行程可達(dá)525 mm,±3 μm分辨率
電動(dòng)式Z方向載物臺(tái):Z軸移動(dòng)距離為25 mm, 0.08 μm分辨率,重復(fù)性<1μm
電動(dòng)式對(duì)焦臺(tái):Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm
COGNEX圖案識(shí)別:圖案校對(duì)分辨率為1/4像素
掃描器性能:
XY掃描范圍:100 μm ×100 μm
XY分辨率:0.15 nm
Z掃描范圍:15 μm
Z分辨率:0.016 nm
AFM和XY移動(dòng)平臺(tái)控制器
ADC:18個(gè)頻道,4個(gè)高速通道,X,Y和Z位置傳感器(24-位ADC)
DAC:12個(gè)頻道,2個(gè)高速DAC通道,X,Y和Z的定位(20-bit DAC)
合規(guī)
CE認(rèn)證:SEMI S2 / S8標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)施要求
待機(jī)室溫:10°C?40°C
工作室溫:18°C?24°C
濕度:30%至60%(不凝結(jié))
地板振動(dòng)要求:VC-E(3微米/秒)
噪音:低于65 dB
氣動(dòng)式:真空度:-80 kPa
CDA(或N2):0.7 Mpa
電源額定值:208V-240 V,單相,17 A(**)
總耗電量:咨詢Park原子力顯微鏡
接地電阻:低于100歐姆
暫無數(shù)據(jù)!