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全自動原子力顯微鏡實現(xiàn)準(zhǔn)確的硬盤磁頭滑塊測量,讓偉大變得簡單
Park Systems的PTR系列是全自動工業(yè)級線上原子力顯微鏡解決方案,適用于(不限于)長形條、磁頭萬向節(jié)組件(HGA)級滑塊以及單獨滑塊的極尖沉降自動測量。憑借著亞納米級精確度、高重復(fù)精度以及高通量,PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測量工具。
自動化、快速、精確且可重復(fù)的極尖沉降測量
硬盤驅(qū)動滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測量極尖沉降,同時保證**標(biāo)準(zhǔn)的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域。在超精確的極尖沉降測量之外,自動化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅(qū)動器滑塊廠商的**選擇,兼顧**的質(zhì)量和**的產(chǎn)量。
高通量,無需多次參考掃描
大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準(zhǔn)確測量極尖沉降,首先是大區(qū)域參考掃描,隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時間,且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來真正的平面掃描,有效地降低掃描次數(shù)。此外,True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利,在延長使用壽命的同時,提供更持久的高分辨率成像效果。相應(yīng)地,Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細(xì)準(zhǔn)確圖像,而無需進(jìn)行參考掃描,以便修正掃描器偽影。
* 應(yīng)用
自動硬盤滑塊測量
Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動的硬盤滑塊測量。
自動極尖沉降測量與分析
借助NX-PTR系統(tǒng),極尖沉降測量可實現(xiàn)全自動,帶來更高的通量,無論是對于載體、長形條,還是滑塊。
Park Systems的工業(yè)級院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動化極尖沉降(PTR)測量成為可能。
極尖沉降量的監(jiān)測要求測量精度達(dá)到0.1 mm,這意味著離測量表面只有20 μm遠(yuǎn)。
自動墻角測量與分析
實現(xiàn)各類墻角的自動測量與分析。
自動缺陷測量與分析
實現(xiàn)各類缺陷的全自動測量與分析,如表面尖角。
NX-PTR擯棄了常見的非線性Z軸電壓信號,而是采用超低噪聲Z軸探測器,從而帶來****的形貌高度精度。憑借著行業(yè)**的低噪聲Z軸探測器,正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內(nèi),甚至可以忽略不計,而這時Z軸形貌信號所無法企及的。
熱漂移和滯后極小,大大降低探針漂移
NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性,從而大大降低熱漂移,實現(xiàn)更為精確的測量。一般情況下,橫向熱漂移率低于100 nm/°C,而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。
測量控制自動化,釋放您的雙手
NX-PTR配有自動化軟件,操作起來輕而易舉。您只需要選擇想要的測量程序,并設(shè)定相應(yīng)的懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點參數(shù),便可取得多位置分析。此外,Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序,以便您完全發(fā)揮NX-PTR的實力,滿足所有的測量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡單。創(chuàng)建新測量文件只需要10分鐘左右的時間,而修改現(xiàn)有的測量文件則不超過5分鐘的時間。
Park NX-PTR的自動化系統(tǒng)具備:
·自動、半自動和手動模式,讓您掌控全局
·各自動程序的可編輯測量方法
·測量過程實時監(jiān)測
·自動分析所獲取的測量數(shù)據(jù)
?。∵x項
自動探針更換(選配)
Park推出的自動探針更換系統(tǒng)讓您的自動測量程序可以無縫續(xù)航。該系統(tǒng)會根據(jù)參考圖形測量數(shù)據(jù),自動校正懸臂的位置和優(yōu)化測量設(shè)定。創(chuàng)新的磁性探針更換成功率高達(dá)99%,讓您無需分心監(jiān)督探針更換!
自動激光準(zhǔn)直(選配)
Park的自動激光準(zhǔn)直系統(tǒng)讓您無需輸入任何數(shù)據(jù),便可持續(xù)自動測量。憑借著我們先進(jìn)的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架,激光在自動更換探針時便已對準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕,便可在X和Y軸上任意定位激光光點,達(dá)到**位置。
離子化系統(tǒng)可創(chuàng)造更穩(wěn)定的掃描環(huán)境
創(chuàng)新的離子化系統(tǒng)能夠快速有效地消除樣品的靜電電荷。由于系統(tǒng)能夠讓陰陽離子保持**的平衡狀態(tài),樣品得以處在極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境中。同時,對周邊區(qū)域的污染幾乎可以忽略不計,并將樣品操作時意外產(chǎn)生靜電電荷的幾率降到*低。
暫無數(shù)據(jù)!