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世界**精度及強大功能Park原子力顯微鏡產(chǎn)品特性
Park XE15具備多個特殊功能,是共享實驗室處理各類樣品、研究員進行多變量實驗、失效分析師研究晶片等的不二選擇。合理的價格搭配強健的性能設(shè)置,使其成為業(yè)內(nèi)性價比**的大型樣品原子力顯微鏡。
MultiSample™(多重采樣TM)掃描器帶來*便捷樣品測量
- 多樣品一次性自動成像
- 特殊設(shè)計的多樣品夾頭,*多可承載16個獨立樣品
- 全自動XY樣品載臺,行程范圍達200 mm x 200 mm。
無軸間耦合提高掃描精度
- 兩種獨立閉環(huán)XY和Z平板式掃描
- 平板式和線性XY掃描可達100μm x 100μm,且殘余壓彎小
- 整個掃描范圍內(nèi)的異面移動小于2nm
- 強力掃描器達25μm Z掃描范圍
- 精確的高度測量
Non-Contact™(真正非接觸TM)模式延長針尖使用壽命、改善樣品保存及精度
- 其Z掃描頻寬是壓電管基礎(chǔ)系統(tǒng)的10倍
- 非接觸式可降低針尖磨損、延長使用壽命
- 成像分辨率高于同類原子力顯微鏡
- 降低樣品干擾,提高掃描精度
提供**用戶體驗
- 開放式側(cè)面接入,提高樣品及針尖更換效率
- 預(yù)對準的針尖安裝和****的軸上俯視法可簡單直觀地實現(xiàn)激光對準
- 燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸
- 界面帶自動設(shè)置功能,方便用戶使用
多種模式與選項
- 綜合性測量模式及特性設(shè)置,是我司**通用型原子力顯微鏡
- 多種可選配件及更新,擴展性能優(yōu)越
-? 為缺陷分析提供先進電氣測量
* 產(chǎn)品特點
100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導(dǎo)向掃描器
XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強力壓電堆疊,可使極小平面外移動形成較大的正交運動,并能快速響應(yīng),實現(xiàn)精確的樣品納米級掃描。
柔性導(dǎo)向強力Z掃描器
在強力壓電堆疊的驅(qū)動及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下,其硬度允許掃描器高速豎直運動,較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速。**Z型掃描范圍搭配遠程Z掃描器(選配)可延長12μm至25μm。
滑動連接的超亮二極管頭
通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動,可輕松將其插入或取出。低相干的超發(fā)光二極管頭可實現(xiàn)高反射表面的精確成像和力-矩光譜的精確測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題,因此用戶在可見光譜實驗中也可使用本產(chǎn)品。
多樣品夾頭
特殊設(shè)計的多樣品夾頭,做多可承載16個獨立樣品,由多重采樣掃描器自動按順序掃描。特殊的夾頭設(shè)計為接觸樣品針尖預(yù)留了邊通道。
選配編碼器的XY自動樣品載臺
自動集成XY載臺可輕松并精確控制樣品的測量位置。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動載臺使用編碼器,可提高樣品定位的精確度和重復(fù)性。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm,重復(fù)率為2 μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1 μm,重復(fù)率為1 μm。
高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭
高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學(xué),具備變焦功能,無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。
垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺
Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上,同時確保用戶視野清晰穩(wěn)定。聚焦載臺是由軟件控制自動運行的,因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應(yīng)用所需精度。
彎曲基底解耦XY和Z掃描器
Z掃描器與XY掃描器完全解耦。XY掃描器在水平面上移動樣品,同時Z掃描器豎直移動探針。
此配置以*小異面移動,實現(xiàn)了平板式XY掃描。此XY掃描同時還具有高正交性與線性。
業(yè)內(nèi)*低本底噪聲
為探測*小樣品的特性,幫助*快運動平面成像,Park Systems設(shè)計了業(yè)內(nèi)0.5?以下的*低本底噪聲標準設(shè)備。使用“零掃描”探測本地噪聲數(shù)據(jù)。
真正非接觸模式延長針尖使用壽命
XE系列原子力顯微鏡已成功搭配**強力Z掃描系統(tǒng)獨有的真正非接觸模式。真正非接觸模式下,使用的是相吸而非相排斥的內(nèi)部原子力。
真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級間距,改善了原子力顯微鏡圖像,保持針尖的銳利,因此有效延長了針尖使用壽命。
預(yù)對準懸臂支撐
預(yù)先安裝在探針支撐上,因此不需要嚴格對齊激光束。
高分辨率的直接同軸光學(xué)元件
用戶可直接俯視觀看樣品,操控樣品表面,從而很容易就能找到目標區(qū)域。高分辨率數(shù)碼攝像頭具備變焦功能,無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。
帶DSP控制芯片的XE控制電子元件
原子力顯微鏡發(fā)出的納米級信號將由高性能Park XE電子元件控制并處理。Park XE電子元件為低噪聲設(shè)計,配備高速處理單元,可成功實現(xiàn)真正非接觸™模式,是納米級成像及電壓電流精準測量的理想選擇。
- 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能處理單元
- 低噪聲設(shè)計,適合電壓電流精準測量
-通用系統(tǒng),各SPM技術(shù)均可得到應(yīng)用
- 外部信號接入模塊,存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
- *多16個數(shù)據(jù)成像
- **數(shù)據(jù)尺寸:4096 x 4096像素
- 16位ADC/DAC,速度達500 kHz
- TCP/IP連接,隔離計算機接出電噪
技術(shù)參數(shù):
掃描器: XY掃描器 Z掃描器
閉環(huán)控制的單模塊撓性XY掃描器 導(dǎo)向強力Z掃描器
掃描范圍:100 μm * 100 μm 掃描范圍:12 μm
25μm(選配)
樣品臺: XY臺工作范圍:150 mm * 150 mm
Z臺工作范圍:27.5 mm
聚焦臺工作范圍:20 mm
影像: 1 樣品基底
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像 樣品**尺寸:150 mm
10倍物鏡(選配20倍) 樣品**厚度:20 mm
視野: 480 μm *360 μm (10倍物鏡)
攝像頭:1M Pixel, 5M Pixel (選配)
軟件: XEP XEI
系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的專用軟件 AFM數(shù)據(jù)分析軟件
實時調(diào)整反饋參數(shù)
通過外部程序(選項)進行腳本級控制
售后服務(wù):
為了給客戶提供高效便捷的售后服務(wù), Park公司在中國區(qū)建立有售后服務(wù)中心并配有備件倉庫。
暫無數(shù)據(jù)!