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熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) - 極高性價比!
型號:EasyDEP
產(chǎn)地:韓國原裝進(jìn)口
儀器特點(diǎn):
1/ 沉積材料:金屬;
2/ 膜厚均勻性:≤ ± 5 % (4英寸基底);
3/ 沉積方式:熱蒸發(fā)舟;
4/ 極限真空:5.0 x 10 -6 Torr;
技術(shù)規(guī)格:
1/ **樣品尺寸:6英寸;
2/ 基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;
3/ 不銹鋼腔體,ID250 x H300 mm;
4/ 真空泵:機(jī)械泵,150L/Min;擴(kuò)散泵,215L/Sec;
5/ 薄膜厚度監(jiān)控:石英振蕩傳感器實時厚度控制;
6/ 厚度精度:0.5%;
7/ 熱蒸發(fā)源:4英寸熱蒸發(fā)舟,交流電源;
暫無數(shù)據(jù)!