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熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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韓國

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上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) - 極高性價比!

型號:EasyDEP

產(chǎn)地:韓國原裝進(jìn)口

儀器特點(diǎn):

1/ 沉積材料:金屬;

2/ 膜厚均勻性:≤ ± 5 % (4英寸基底);

3/ 沉積方式:熱蒸發(fā)舟;

4/ 極限真空:5.0 x 10 -6 Torr;

技術(shù)規(guī)格:

1/ **樣品尺寸:6英寸;

2/ 基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;

3/ 不銹鋼腔體,ID250 x H300 mm;

4/ 真空泵:機(jī)械泵,150L/Min;擴(kuò)散泵,215L/Sec;

5/ 薄膜厚度監(jiān)控:石英振蕩傳感器實時厚度控制;

6/ 厚度精度:0.5%;

7/ 熱蒸發(fā)源:4英寸熱蒸發(fā)舟,交流電源;

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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

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