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光致發(fā)光測試儀
光致發(fā)光測試儀

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美國

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廣州市固潤光電科技有限公司

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MaxMile LED 外延片 EL/PL 聯(lián)合測試系統(tǒng)

4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System

1、外延尺寸(**12” ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"

2、工作臺尺寸(W×D×H):18"×18"×14" 18"×18"×14" 32"×32"×68" 57"×32"×68"

3、外延裝載功能: manual manual manual/robot robot

4、裝載盒數(shù)量: n/a n/a 1 up to 3

5、裝載盒檢測: n/a n/a yes yes

6、外延尺寸檢測: n/a n/a yes yes

7、裝載盒外延映射: n/a n/a yes yes

8、預(yù)對準(zhǔn): n/a n/a yes yes

9、外延片快速映射功能測試:

標(biāo)準(zhǔn):EL(電致發(fā)光),PL(光致發(fā)光),EL / PL相結(jié)合,IV,反向特性,翹曲。

可選:膜厚測試 ,GaN on Si特征,測試溫度控制。*

10、光譜檢測范圍:從紫外到近紅外(默認(rèn)為200nm—800nm)

11、光譜分辨率:0.5-2 nm,取決于光譜范圍選擇和系統(tǒng)配置

12、測試項目:

1、電致發(fā)光Mapping:

波長--WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波長,半高寬度。

強(qiáng)度—輻射/發(fā)光功率,轉(zhuǎn)換效率。

電流—正向電流/電壓,導(dǎo)通電壓,反向漏電流/電壓,閾值電壓,導(dǎo)通電阻,頂部電阻

正向漏電流,串接電阻,理想因子,等。

2、光致發(fā)光:

波長—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波長,半高寬度。

強(qiáng)度—輻射/發(fā)光功率,轉(zhuǎn)換效率。

3、IV特性Mapping:

正向電流/電壓,反向漏電流/電壓,閾值電壓,導(dǎo)通電阻,等。

4、其他特性Mapping:

翹曲度

薄膜厚度*

5、測試曲線類型:

特定驅(qū)動電流/電壓的電致發(fā)光光譜

光致發(fā)光譜

LIV—電流/發(fā)光強(qiáng)度— 電壓

輸出強(qiáng)度— 驅(qū)動電流

波長&半高寬— 驅(qū)動電流

反向IV

6、CVD外延布局Mapping:

對于上述所有測試項目,無論mapping還是快速測試均可做布局圖

注意:軟件可以客制化,可為客戶特殊的器件參數(shù)做mapping圖

13、激發(fā)源:EL: Keithley 數(shù)字電源;PL:405nm標(biāo)配,MaxMile配置其他激發(fā)源。

14、EpiEL探針類型:Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si

15、電流測試:>10 -12A

16、控制單元與操作系統(tǒng):EpiEL內(nèi)部電腦使用64位微軟Windows7/8操作系統(tǒng)

17、采樣點/采樣步驟:

1、電致發(fā)光采樣點和每個點的光/電測量步驟都可由*終用戶設(shè)置。

2、光致發(fā)光采樣點可以由*終用戶(高分辨率應(yīng)用于高要求的應(yīng)用,快速掃描可用于批量生產(chǎn)的質(zhì)量控制。

3、用戶可自定測試點的布局。

18、測試時間:每片外延片測試約0.5-12分鐘,這取決于測試類型、采樣點、檢測協(xié)議和測量步距設(shè)置的不同之處; 光致發(fā)光選項掃描速度是每秒*多達(dá)50點。

19、報告生成與數(shù)據(jù)展示:HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT

20、Mapping顏色編碼:彩虹色,漸變色,二元色,溫度,灰色,或任何由*終用戶指定的顏色類型。

21、電源:15A/110VAC 或是10A/220VAC(**電壓);機(jī)器人系統(tǒng)需要真空。

22、環(huán)境條件:溫度: 15℃ - 30℃ ,相對濕度:30% -70%無凝結(jié)。

Epi-EL/PL聯(lián)合測試系統(tǒng)

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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

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