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經(jīng)典光學(xué)顯微鏡可以擴(kuò)展成一個(gè)完善的掃描干涉顯微鏡使其實(shí)用性顯著增加。使用這個(gè)高精度3D數(shù)據(jù)測(cè)量原理可以收集整個(gè)顯微鏡的可視范圍。顯微鏡和smartWLI可以完成各種類(lèi)型的3D分析為基礎(chǔ)。
顯微鏡生成的2D圖像
3D圖像——掃描干涉顯微鏡的功能
測(cè)量系統(tǒng) | ||||
測(cè)量原理 | 白光干涉法 | |||
z-定位系統(tǒng) | Piezo 物鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng) | |||
高度測(cè)量范圍 垂直分辨率 | Up to 400 μm 〈1 nm | |||
| 光源 | LED | |||
相機(jī)模塊 | CCD 782 x 582 pixel | |||
物鏡放大倍數(shù) 橫向測(cè)量范圍 *小分辨率 | 10x or 20x or 50x 649x483 um² or 324x241 um² or 129x96 um² 1.66 µm or 0.96 µm or 0.70 µm | |||
測(cè)量時(shí)間 | <1 min | |||
軟件 | ||||
smartWLI | 軟件用于測(cè)量地形和使用一個(gè)直接接口到MountainsMap分析軟件輸出的3D數(shù)據(jù)，自動(dòng)拼接模塊 | |||
MountainsMap® | 廣泛的分析軟件以及輪廓和三維可視化、測(cè)量數(shù)據(jù)預(yù)處理和后處理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量測(cè)定，順序處理，測(cè)量記錄 | |||
文檔格式 | ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF | |||
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