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主動(dòng)式防震臺(tái)+HERZ+AVI600

為各類(lèi)透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機(jī)，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器提供主動(dòng)隔振系統(tǒng)！

AVI-600 為緊湊型的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，是納米技術(shù)大型儀器隔振的**解決方案。對(duì)升級(jí)和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來(lái)說(shuō)是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸大小和配置，通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重（**承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主動(dòng)隔振臺(tái)采用先進(jìn)的隔振技術(shù)，適用于任何科研環(huán)境下，該隔振模塊可以隔離6個(gè)空間方向的振動(dòng)（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動(dòng)隔振臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動(dòng)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號(hào)來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。

產(chǎn)品特點(diǎn)

主動(dòng)隔振頻率 1Hz - 200Hz

• 被動(dòng)隔振頻率>200Hz

• 5-20ms的響應(yīng)時(shí)間

• 安裝簡(jiǎn)單，容易使用

• 穩(wěn)定性高，能無(wú)故障連續(xù)使用多年

• 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)

產(chǎn)品應(yīng)用

• SEM 、TEM

• UHV-SPM 光刻

• 隧道顯微鏡

• Fabry-Perot干涉儀

• 大型對(duì)振動(dòng)敏感的儀器設(shè)備

性能優(yōu)勢(shì)

• 系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除

• 六個(gè)空間方向的自由隔振

• 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振

• 低頻隔振性能優(yōu)秀

• 無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求

技術(shù)參數(shù)：

兼容性：

AVI-600 work station 主動(dòng)隔振臺(tái)可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來(lái)增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

主動(dòng)隔振，主動(dòng)減振，主動(dòng)除振，主動(dòng)防振系統(tǒng)。為各類(lèi)透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機(jī)，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器！超低頻隔震臺(tái)、防震臺(tái)、減震臺(tái)、除震臺(tái)。