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LA-150 DC 實驗室探針臺
LA-150 DC是SemiProbe一款價格適中、體積小的150mm（6英寸）探針臺，適用于研發(fā)中心和各大高校，具有高穩(wěn)定性和靈活性，滿足你實驗室測量的需求。它配置完整，安裝經由客戶完成，操作可在一小時內完成。
SemiProbe的實驗室探針臺專門設計于滿足研究人員的測試需求 --- 操作簡單輕松、體積小型便于攜帶、價格適中具有競爭力以及它的模塊化設計。與之相比，一般情況下，這樣功能的探針臺是非常昂貴的，但這款實驗室探針臺能以非常有競爭力的價格實現提供了多種產品特點和選擇 ---多種平臺、卡盤、光學組件和操縱器。并且可在之后增加各種附件從而增強系統功能性。
產品特點和優(yōu)勢：
? 體積小--- 適用于桌面，小型工作臺，手套式操作箱或者暗箱
? 系統配置完整
? 組件可更換---可當做單獨應用系統或者多個應用系統使用
? 模塊化設計--- 可增加多個配件實現更多的性能
? 直流電、高頻/微波和Kelvin版本
配置包括：
? 硬鋁基座，帶有橡膠隔振腳
? 粗糙和精細的晶圓平臺調整，附有可更換的平臺選擇--- 包裝部件或者熱部件
? 精細的平臺移動，使用精準的測微計控制--- X (25 mm)， Y (25 mm) & Z (>20 mm)
? 粗糙（360度）和精細（10度）theta調整
? 150mm(6英寸)卡盤，附有隔離適配器和真空控制系統
? 材質為鋁，鍍不銹鋼，附有可移動的前鍥子
? 精準的測微計 臺板Z上升（13mm）
? 兩個DC MA-8005 操縱器，附有磁性基座，面板和同軸探針臂（標準）
? 顯微鏡桿，附有同軸和線性顯微鏡X，Y移動50 mm x 75 mm
? 6.7:1變焦(130x 放大倍率) 三目立體變焦顯微鏡，工作距離為100mm
規(guī)格參數
| 尺寸 | 420 mm X 540 mm X 535mm (16.5” X 21.3” X 21.1”) (W，H，L) – with Optics |
| 重量 | 32 kg (70 lbs.) |
| 基座 | Solid Aluminum rigidbase on rubber vibration isolation feet |
| 卡盤平臺X-Y 移動 | Adjustable magneticslide for coarse adjustment (> 150 mm) Fine micrometeradjustment – 25 mm (X， Y) Entire stage easilyremoved via magnetic base |
| 卡盤平臺Z 移動 | Z travel: 20 mm(0.78”) with micrometer driven contact/separation |
| Theta 移動 | Travel: 360 degrees(coarse) and 10 degrees (fine) with theta locking knob |
| 卡盤 | Vacuum or mechanicalclamping， round or square， HF， ambient， thermal and custom Handle die， wafflepacks， sawn wafers on frame， broken wafers and wafers up to 150 mm Nickel plated steelwith concentric vacuum rings (standard)， other materials available |
| 臺板 | Aluminum withstainless steel top and removable front wedge for easy wafer handling Manipulator fixation– magnetic (standard)， vacuum (with optional vacuum manifolds) |
| 臺板移動 | Micrometer drivenplaten Z adjustment |
| 顯微鏡安裝 | Rigid aluminum post(standard) or boom available |
| 顯微鏡移動 | Manual coaxial andlinear fine microscope movement - 50 mm (X) and 75 mm (Y) (2”x3”) |
| 光學組件 | Trinocular stereozoom microscope (standard)， compound or zoom tube (optional) |
| 其它工具 | Power: AC 110/220V AC50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8bar |
| 可選配件 | CCTV Systems (camera，monitor and adapter) and stand (shown in picture page 1) Manipulators， ProbeArms， Probes， Cables – Coaxial， Triaxial， Kelvin， HF， Optical Probe Card andPackage Part Holders Vibration IsolationTables， Dark Box Stages – wafer，packaged part， thermal |
備注：規(guī)格參數的數值具體取決于探針系統的配置和配件要求
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