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日立馳名的冷場發(fā)射電子源和300 kV加速電壓技術(shù)共同打造了超高分辨率成像和高靈敏度分析功能。雙棱鏡全息技術(shù)，空間分辨電子能量損失譜以及高精度平行納米電子束衍射技術(shù)開辟了高效，高精度樣品分析的新途徑。
分辨率：
0.1 nm（晶體點陣）
0.19 nm（點對點）
0.13 nm（信息極限）
放大倍數(shù)：200倍 至 1，500，000倍
加速電壓：300 kV， 200 kV （*）， 100 kV （*）
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