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面議型號
EVG 540晶圓鍵合系統(tǒng)品牌
亞科電子產地
北京樣本
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產品簡介:
EVG 540是一款全自動單腔室晶圓鍵合系統(tǒng),常用于中試線和晶圓級封裝、三維互聯和MEMS領域。
主要特點及參數:
·**支持12英寸(300mm)晶圓
·組合式鍵合室設計,可同時自動處理*多4個鍵合卡盤
·擁有獨立的底部冷卻系統(tǒng)
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