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MOCVD在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) viperRTC–LSS品牌
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l 適用于Aixtron Gx 每小盤(pán)多片行星式MOCVD系統(tǒng)
l 測(cè)溫波長(zhǎng)：940nm ü測(cè)量反射率波長(zhǎng)：940nm, 633nm 或定制
l 測(cè)量曲率波長(zhǎng)：405nm激光
l 曲率測(cè)量傳感器：PSD
l 測(cè)溫范圍寬：450度~1450度
l 測(cè)量準(zhǔn)確度：±1度，重復(fù)性精度 <0.5度
l 一個(gè)溫度反射率測(cè)量通道，1個(gè)曲率測(cè)量通道（可配置多通道）
l 單點(diǎn)RTC探頭，同時(shí)測(cè)量溫度，反射率和曲率
l 獨(dú)有算法，可實(shí)現(xiàn)行星式多片wafer的曲率測(cè)量
viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于慢轉(zhuǎn)速，多片行星式MOCVD設(shè)備，實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝反射率（R），溫度（T）和翹曲度（C）的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。測(cè)溫信號(hào)，可用于閉環(huán)溫度控制。
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