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E3500 SiC 缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
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E3500是針對(duì)SiC材料的缺陷檢測(cè)設(shè)備，可以檢測(cè)SiC襯底、同質(zhì)外延等的表面和熒光缺陷。可以檢測(cè)并區(qū)分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測(cè)，具有高產(chǎn)能、高檢測(cè)精度的優(yōu)點(diǎn)。
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