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MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng) viperRTC-LSD品牌
昂坤視覺產(chǎn)地
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主要技術(shù)指標(biāo)
l 適用于Aixtron Gx 等單片式行星式轉(zhuǎn)盤系統(tǒng)
l 測溫波長：940nm
l 測量反射率波長：940nm, 633nm 或定制
l 曲率測量傳感器: CCD
l 測溫范圍: 450度-1450度
l 測量準(zhǔn)確度：±1度，重復(fù)性精度 <0.5度
l 一個溫度反射率測量通道，1個曲率測量通道（可配置多通道）
l 2點RTC探頭，同時測量溫度，反射率和曲率
暫無數(shù)據(jù)！
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