誤差率:
-分辨率:
100nm重現(xiàn)性:
-分散方式:
-測(cè)量時(shí)間:
可在數(shù)秒內(nèi)完成 4 至 12 英寸掩膜版|保護(hù)膜成像測(cè)量范圍:
夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)看了掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)的用戶又看了
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Fastmicro 掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)
為掩膜版、掩膜版保護(hù)膜以及基板(襯底)制造工藝,提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高效且提供全方位服務(wù)的選擇。它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,以及較低的維護(hù)成本,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
高通量檢測(cè):每小時(shí)可檢測(cè) 400 片晶圓(WPH)
數(shù)據(jù)輸出:根據(jù) ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn),在用戶界面和 PDF 報(bào)告輸出 SCP 等級(jí)
正反兩面檢測(cè):?jiǎn)未螠y(cè)量中完成正反兩面檢測(cè)(無(wú)需翻轉(zhuǎn))
檢測(cè)范圍:能夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)
生產(chǎn)過(guò)程中的一致性測(cè)量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境中的質(zhì)量鑒定與監(jiān)測(cè)
操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響,自動(dòng)化,潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量(數(shù)量、位置、尺寸)
一致性: 每次測(cè)量都保持客觀、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用,提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇。
它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,以及 較低的維護(hù)成本,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。
對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用, PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性:雙面同 時(shí)掃描(選配);
靜態(tài)視場(chǎng)掃描(在圖像采集過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)產(chǎn)品)。
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
今年 11 月 2 日起,每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代,生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求。因此,潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì),而控制
2020-12-21
2020-12-21
INVITATION 第二屆人工智能傳感器與換能器國(guó)際會(huì)議將于 7 月 29 日- 8 月 3 日在馬來(lái)西亞吉隆坡舉辦。我們誠(chéng)摯邀請(qǐng)您參加并蒞臨我們的【2】號(hào)展位,與技術(shù)銷售工程師 Vinc
近日,揚(yáng)州小天光子科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“小天光子”)成功引入桌面掃描電鏡領(lǐng)導(dǎo)者---飛納電鏡旗下的旗艦設(shè)備 Phenom ProX G6 掃描電鏡能譜一體機(jī),并順利完成了安裝與驗(yàn)收,正式投
汽車清潔度管控 Phenom Scientific 清潔度一般指汽車零件、總成及整機(jī)等部位被顆粒物污染的程度,用規(guī)定的方法從特定的部件采集到顆粒物的質(zhì)量、大小、形狀、
摘要:隨著汽車工業(yè)對(duì)質(zhì)量與可靠性的要求日益提升,汽車清潔度檢測(cè)已成為保障關(guān)鍵零部件穩(wěn)定運(yùn)行的核心環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)方法難以滿足對(duì)微小顆粒的識(shí)別需求,因此,先進(jìn)的掃描電鏡(SEM)技術(shù)正被廣泛應(yīng)用于清潔度分析領(lǐng)
掃描電鏡(SEM, Scanning Electron Microscope)作為半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的高精度檢測(cè)工具,憑借其納米級(jí)分辨率和強(qiáng)大的表征能力,已廣泛應(yīng)用于芯片制造、材料開(kāi)發(fā)、失效分析、工
掃描電子顯微鏡樣品制備全攻略:從原理到實(shí)踐掃描電子顯微鏡(SEM)是研究材料微觀結(jié)構(gòu)的重要工具,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)等領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展,現(xiàn)代掃描電鏡不僅具備高分辨率形貌