測(cè)量范圍:
-誤差率:
-分辨率:
-重現(xiàn)性:
-分散方式:
-測(cè)量時(shí)間:
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Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀 PFS
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀,專為潔凈室顆粒沉積速率測(cè)量而研發(fā),支持秒級(jí)間隔的數(shù)據(jù)采集,精準(zhǔn)測(cè)量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng),幫助客戶實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測(cè)向表面潔凈度監(jiān)測(cè)的跨越式升級(jí),為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
數(shù)據(jù)輸出及可視化:符合 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)
高通量檢測(cè):可檢測(cè)低至 0.5 um 顆粒
快速:10 秒完成 2 英寸面積檢測(cè)
定量:適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)
生產(chǎn)過程中的一致性測(cè)量
快速: 秒級(jí)連續(xù)監(jiān)測(cè)
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)
易操作: 操作員簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可使用
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量(數(shù)量、時(shí)間線、位置、尺寸)
一致性: 可重復(fù)的客觀測(cè)量結(jié)果
高吞吐量: 現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)分析
監(jiān)測(cè)顆粒沉積速率(DPRL)
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀(PFS)采用緊湊的工 業(yè)設(shè)計(jì),依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn),監(jiān)測(cè)顆 粒沉積速率(DPRL)。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r(shí) 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況。
在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測(cè)
區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測(cè)空氣懸浮顆粒,該系統(tǒng)可以對(duì)關(guān)鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗(yàn)證進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測(cè)。 亞微米級(jí)顆粒并非始終懸浮于空氣中,它們可能沉積于關(guān) 鍵表面,影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。
該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒,并可每 隔 10 秒左右對(duì)晶圓表面的顆粒進(jìn)行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測(cè)。 其檢測(cè)粒徑尺寸為 ≥0.5(通過 NIST 認(rèn)證),并準(zhǔn)確量化 沉降速率。 軟件界面簡(jiǎn)單直觀,可以一鍵生成報(bào)告。
Fastmicro PFS 是 唯 一 一 款 高 精 度 原 位 檢 測(cè) 顆 粒 的 儀 器,幫 助 工 程 師 應(yīng) 對(duì)潔凈工藝控制挑戰(zhàn)。
結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡,可以 便捷高效的進(jìn)一步對(duì)顆粒物進(jìn)行成分表征和溯源分析。
暫無數(shù)據(jù)!
今年 11 月 2 日起,每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代,生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求。因此,潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì),而控制
2020-12-21
2020-12-21
高校信賴之選!安徽大學(xué)電鏡中心成功調(diào)試 DENS Lightning Arctic TEM 原位冷凍熱電桿!近日,DENSsolutions 最新款 Lightning Arctic TEM 原位冷凍
近日,飛納電鏡走進(jìn)福建農(nóng)林大學(xué),成功舉辦了“飛納電鏡助力農(nóng)業(yè)研究技術(shù)交流會(huì)”。本次交流會(huì)吸引了眾多生命科學(xué)、材料科學(xué)和電子顯微鏡領(lǐng)域的老師和研究人員,與會(huì)者對(duì)應(yīng)用案例的分享表現(xiàn)出極大的興趣,并進(jìn)行了深
2025 年 5 月 14 - 16 日,中國(guó)金屬學(xué)會(huì)煉鋼分會(huì)將在山東省濟(jì)南市舉辦“2025 年(第二十六屆)全國(guó)煉鋼學(xué)術(shù)會(huì)議”。會(huì)議主題為“綠色低碳、提質(zhì)增效、助力新質(zhì)新發(fā)展”,旨在探討
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半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ),支撐著從計(jì)算到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的一切功能。隨著器件尺寸縮小且結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜,精準(zhǔn)的失效分析變得至關(guān)重要。AFM-in-SEM 失效分析:該技術(shù)直接集成于 FIB / SEM(聚焦離子
Nature Nanotechnology | 原子層沉積賦能無鈷 LiNiO? 正極材料,引領(lǐng)全固態(tài)鋰電池性能革新! 發(fā)表文章:High-energy all-solid-st