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-分辨率:
-重現(xiàn)性:
-分散方式:
-測量時(shí)間:
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Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀 PFS
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀,專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā),支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集,精準(zhǔn)測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng),幫助客戶實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級,為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
數(shù)據(jù)輸出及可視化:符合 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)
高通量檢測:可檢測低至 0.5 um 顆粒
快速:10 秒完成 2 英寸面積檢測
定量:適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測
生產(chǎn)過程中的一致性測量
快速: 秒級連續(xù)監(jiān)測
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測
易操作: 操作員簡單培訓(xùn)即可使用
精準(zhǔn): 高分辨率測量(數(shù)量、時(shí)間線、位置、尺寸)
一致性: 可重復(fù)的客觀測量結(jié)果
高吞吐量: 現(xiàn)場實(shí)時(shí)分析
監(jiān)測顆粒沉積速率(DPRL)
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀(PFS)采用緊湊的工 業(yè)設(shè)計(jì),依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn),監(jiān)測顆 粒沉積速率(DPRL)。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r(shí) 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況。
在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測
區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測空氣懸浮顆粒,該系統(tǒng)可以對關(guān)鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗(yàn)證進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測。 亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中,它們可能沉積于關(guān) 鍵表面,影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。
該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒,并可每 隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進(jìn)行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測。 其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5(通過 NIST 認(rèn)證),并準(zhǔn)確量化 沉降速率。 軟件界面簡單直觀,可以一鍵生成報(bào)告。
Fastmicro PFS 是 唯 一 一 款 高 精 度 原 位 檢 測 顆 粒 的 儀 器,幫 助 工 程 師 應(yīng) 對潔凈工藝控制挑戰(zhàn)。
結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡,可以 便捷高效的進(jìn)一步對顆粒物進(jìn)行成分表征和溯源分析。
暫無數(shù)據(jù)!
今年 11 月 2 日起,每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代,生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求。因此,潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì),而控制
2020-12-21
2020-12-21
INVITATION 第二屆人工智能傳感器與換能器國際會(huì)議將于 7 月 29 日- 8 月 3 日在馬來西亞吉隆坡舉辦。我們誠摯邀請您參加并蒞臨我們的【2】號展位,與技術(shù)銷售工程師 Vinc
近日,揚(yáng)州小天光子科技有限公司(以下簡稱“小天光子”)成功引入桌面掃描電鏡領(lǐng)導(dǎo)者---飛納電鏡旗下的旗艦設(shè)備 Phenom ProX G6 掃描電鏡能譜一體機(jī),并順利完成了安裝與驗(yàn)收,正式投
汽車清潔度管控 Phenom Scientific 清潔度一般指汽車零件、總成及整機(jī)等部位被顆粒物污染的程度,用規(guī)定的方法從特定的部件采集到顆粒物的質(zhì)量、大小、形狀、
摘要:隨著汽車工業(yè)對質(zhì)量與可靠性的要求日益提升,汽車清潔度檢測已成為保障關(guān)鍵零部件穩(wěn)定運(yùn)行的核心環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)方法難以滿足對微小顆粒的識(shí)別需求,因此,先進(jìn)的掃描電鏡(SEM)技術(shù)正被廣泛應(yīng)用于清潔度分析領(lǐng)
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掃描電子顯微鏡樣品制備全攻略:從原理到實(shí)踐掃描電子顯微鏡(SEM)是研究材料微觀結(jié)構(gòu)的重要工具,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)等領(lǐng)域。經(jīng)過半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展,現(xiàn)代掃描電鏡不僅具備高分辨率形貌