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展品介紹

Entegris（PSS）在線滴定儀

SemiChem 在線滴定儀 是一款集自動取樣、分析和報告關鍵過程的定量化學濃度于一體的化學監(jiān)測系統(tǒng)。通過全面的在線化學監(jiān)測，該系統(tǒng)可實時校正Slurry成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產條件。

應用領域：

1. 半導體領域CMP Slurry中過氧化物（雙氧水）的在線濃度檢測；

2. CMP Slurry過氧化物（雙氧水）的濃度分析；

3. DSP+（dilute sulfuric peroxide HF mixture）的濃度檢測。

Entegris（PSS）在線顆粒計數(shù)器

AccuSizer^? Mini在線液體顆粒計數(shù)器，不僅能根據(jù)客戶需求靈活匹配功能模塊進行在線顆粒監(jiān)測，還具備LE400、FX和FX Nano等多種傳感器選項。設備可高精度地檢測遠離主峰的幾個ppt水平標準差的LPC分布，并快速統(tǒng)計數(shù)十萬個粒子，為生產過程提供真實可靠的數(shù)據(jù)支持。

Entegris（PSS）液體顆粒計數(shù)器

AccuSizer^? A2000、A7000、A9000液體顆粒計數(shù)器具有高靈敏度，高分辨率，高達1024個數(shù)據(jù)通道等特點。在檢測液體中的顆粒數(shù)量的同時精確測量顆粒的粒度及粒度分析，結合全新一代軟件的強大分析功能，通過真實精細的分布結果，廣泛服務于醫(yī)藥、半導體、精細化工、光電等領域。

Entegris（PSS）納米激光粒度儀

Nicomp^? 3000系列納米激光粒度儀采用動態(tài)光散射原理檢測分析樣品的粒度分布?；诙嗥绽针娪竟馍⑸湓頇z測ZETA電位。獨有的0.9°步進型多角度模塊和Nicomp^? 多峰分布可分辨體積比1:2的多組分，可為客戶提供精確的納米顆粒粒度表征和粒度分布測試。

LUM穩(wěn)定性分析儀

LUMiSizer^? 是一款穩(wěn)定性分析儀，基于重力沉降法的原理，應用LUM（羅姆）的STEP技術（Space Time resolved Extinction Profiles, 空間時間消光圖譜法）可快速、簡單地量化乳液、膠體、懸浮液等液相分散體系的穩(wěn)定性——沉降、上浮、熟化、聚結等行為，一次可同時測定12個樣品，可以快速判定和量化其穩(wěn)定性和效期。

在展會上，您將了解奧法美嘉最新的半導體粒度表征解決方案，與我們的技術人員面對面交流。

我們誠摯期待您的蒞臨，共同探討半導體行業(yè)的未來發(fā)展趨勢。

感謝您對奧法美嘉的關注與支持，相約SEMICON China 2025，我們下周見！

奧法美嘉展位號：N2館-2642

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