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聯(lián)合日本科學(xué)與技術(shù)研究所（JST）開發(fā)，并且在多個國家注冊了該項技術(shù)的**！

該設(shè)備用于大量制備納米碳材料，如碳納米管粉、碳納米管薄膜和定向碳納米管制備；采用封閉式管式爐，石英反應(yīng)管直徑50mm/70mm~110mm*1000mm，基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；氣源包括氫氣、氮?dú)狻⒓淄?、酒精等?/p>

MPCVD是一種碳納米管化學(xué)汽相沉積綜合系統(tǒng)，具備一個水平石英管式爐，該系統(tǒng)可以大量穩(wěn)定生產(chǎn)垂直對齊的CNT和各種粉末CNT。成熟穩(wěn)定的工藝保證了制備質(zhì)量和數(shù)量，也可用于三維形狀的CNT制備。乙醇注入裝置配備一個滴定法流量控制系統(tǒng)，氣體輸入端口配備三通道質(zhì)量流量氣體控制器(惰性氣體，碳?xì)浠衔餁怏w，氫氣)。

真空排氣系統(tǒng)使得該系統(tǒng)能夠在一個廣泛的氣壓下運(yùn)行，從大氣到低壓(10 Pa)，也可用作為熱處理系統(tǒng)，例如：真空爐、大氣爐、氮化爐。

相關(guān)產(chǎn)品：

1. 納米顆粒制備系統(tǒng)；

2. ZnO納米帶制備系統(tǒng)；

3. 碳納米管制備系統(tǒng)：用于高質(zhì)量碳納米管制備、納米顆?；虮∧ぶ苽洹nO納米帶制備等；

4. 碳納米管生產(chǎn)系統(tǒng)CVD：用于粉末碳納米管、nanofiber， nanocoil， and film-type CNTs 等；

5. 催化劑薄膜制備系統(tǒng)：可沉積催化劑薄膜在各種材料上，用于高性能碳納米管的指標(biāo)；

技術(shù)特點(diǎn)：

*成熟的碳納米材料制備工藝和豐富的經(jīng)驗

*乙醇和碳?xì)浠衔镒鳛樘荚?/p>

*用于SWCNT 合成

*具備催化劑前體供應(yīng)功能

*可以合成較長長度 ( ~500 um)垂直對齊的CNT和粉末狀的CNT

*具備三通道氣體質(zhì)量控制器

*體積小，基座穩(wěn)定

***溫度：1200度；

*價格優(yōu)惠；

*運(yùn)行成本低；

技術(shù)參數(shù)：

基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；

粉末碳納米管、nanofiber， nanocoil， and film-type CNTs 等；