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Bench-Top Plasma Tool
Bench-Top Plasma Tool

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美國

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German First-Nano System 德國韋氏納米

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AGS Plasma Systems, Inc.

Now Celebrating Our 25thyear!

美國AGS成立于1991年,在等離子系統(tǒng)領(lǐng)域已有25年的歷程,是一家歷史悠久的等離子系統(tǒng)供應商,提供的真空等離子系統(tǒng)主要應用于圖案轉(zhuǎn)換中薄膜沉積,刻蝕,如微電子,MEMS,光伏,光電,納米科技等行業(yè)領(lǐng)域。

2012年Semicon West ,AGS公司推出一個新型的,桌面式 TT-150—RIE/CVD 系統(tǒng),非常經(jīng)濟實用,對世界各地大學,研究所來說這樣如此特色的RIE和CVD應用是非常**的。
  • 模塊化的TT-150適合半導體MEMS,TFT,PV的2寸---6寸應用。

  • AGS TT 等離子系統(tǒng)在一個平臺上提供了所有的功能特征

  • RIE,PECVD,和等離子刻蝕PE都能在一個易操作,低維護,實用簡單的平臺上實現(xiàn),同時可以根據(jù)您的工藝要求升級您的需求

  • 當您需要更換工藝技術(shù)是,腔體的部件,材料,進氣裝置提供更多的工藝擴展

  • AGS依靠公司豐富的經(jīng)驗為新工藝開發(fā)提供低成本的先進的技術(shù)資源便于提前研發(fā)先進的領(lǐng)域技術(shù)

  • 桌面式,占地面積小,節(jié)省實驗室空間

  • 工藝控制簡單,易于使用者操作

  • 兼容等離子刻蝕PE和PECVD,成本低

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