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CNI v3.0是一種非常靈活的納米壓印機(jī)。它可提供加熱型納米壓印、UV紫外納米壓印以及真空納米壓印。模塊化系統(tǒng)可根據(jù)特定需求輕松配置，體積小，容易存放，**可處理210mm(8英寸)圓形的任何尺寸印章和基材。該系統(tǒng)是手動(dòng)裝卸印章和模板，但所有處理器都是全自動(dòng)的，專用軟件用戶可以完全控制壓印過程。

納米壓印機(jī)特色：

• 體積小巧，容易存放，桌面型；

• 輕微復(fù)制微米和納米級(jí)結(jié)構(gòu)；

• 熱壓印溫度高達(dá)200℃；

• 可選的高溫模塊，適用于250℃；

• UV納米壓印，365nm曝光；

• 可選的UV模塊，適用于405nm曝光；

• 真空納米壓?。ㄇ皇铱沙檎婵罩?/span>0.1mbar）；

• 納米壓印壓力高達(dá)11bar；

• 溫度分布均勻、讀數(shù)精準(zhǔn)；

• 筆記本電腦全自動(dòng)控制，工藝配方編輯簡單，完全靈活控制，自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)；

• 直徑**210mm（圓形）腔室；

• 腔室高度為20mm；

• 即插即用

• 使用簡單直觀

• 專為研發(fā)而設(shè)計(jì)

• 提供安裝和操作教程視頻

在過去的五年中，基于石墨烯的氣體傳感器引起了極大的興趣，顯示出了單分子檢測的優(yōu)勢。*近的研究表明，與未構(gòu)圖的層相比，構(gòu)圖石墨烯可大大提高靈敏度.

使用軟壓印在CNI v2.0中進(jìn)行熱納米壓印光刻，將mr-I7010E壓印抗蝕劑在130℃，6bar壓力下壓印10分鐘，壓力在70℃下釋放。

通過反應(yīng)離子蝕刻將邊緣到邊緣間隔為120-150nm的大面積圖案的孔轉(zhuǎn)移到石墨烯中，并且用丙酮除去殘留的抗蝕劑。

發(fā)現(xiàn)器件具有大約的載流子遷移率發(fā)現(xiàn)器件在加工前具有約2000cm2/Vs的載流子遷移率，之后具有400cm2/Vs的載流子遷移率處理，同時(shí)保持整體低摻雜水平。