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TEM透射電鏡等離子清洗機
TEM透射電鏡等離子清洗機

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美國

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邁可諾技術(shù)有限公司

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品牌:PIE

型號:Tergeo EM

Tergeo EMSEMTEM樣品/樣品桿清潔專用等離子清潔儀

美國PIE Scientific專注研發(fā)先進的實驗室用等離子儀器,用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是:將半導(dǎo)體和核工程研究中開發(fā)的等離子技術(shù)集成到經(jīng)濟實用的實驗室用等離子儀器。

專為去除SEM & TEM樣品的碳氫污染而設(shè)計。特有的雙清洗模式(immersiondownstream)能夠處理各種不同的樣品,從嚴(yán)重污染的電子光學(xué)孔徑光闌到各種脆弱易損樣品,如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網(wǎng)上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品托。特別設(shè)計的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。

特點:

1. 系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化

2. 13.56MHz高頻射頻發(fā)生器

3. 7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作

4. 標(biāo)配75W版本,可選150W版本

5. 標(biāo)配2路氣體輸入,可選第三路氣體輸入

6. 可選與FEI、JEOL、HITACHITEM樣品桿配套的專用適配器

7. AC輸入:通用(110~230V, 50/60Hz)

除了Tergeo EMSEM & TEM樣品清潔專用等離子清潔儀,另有Tergeo Basic基本型等離子清潔儀和Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀

三、技術(shù)參數(shù)

1、控制系統(tǒng)

1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟

2、反應(yīng)腔體

1)腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙。

2)腔體尺寸:內(nèi)徑110毫米,外徑120毫米,深度280毫米,壁厚:5毫米。

3)前觀測窗:前方開口,5毫米厚石英玻璃可視窗口,可觀測內(nèi)腔等離子狀態(tài),并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯(lián)鎖裝置,有效保護操作的安全性;

3、射頻電源

1)射頻頻率:13.56MHz

2)射頻功率:標(biāo)配0~75W;可選配0~150W。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),自動阻抗匹配。

3)射頻輸出可以工作在脈沖方式,脈沖比可以從1/255調(diào)到255/255(連續(xù)輸出)。

4、等離子源

1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2)電阻耦合電離方式。

3)外置電極設(shè)計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1)氣路控制:標(biāo)配一路MFC;可選配三路MFC

2)質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量;

3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

4)自動放氣流程控制可以保護真空泵不受影響。

5)高性能氣壓計可以測量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。

66mm氣體接口。

6、真空系統(tǒng)

1KF25法蘭接口用來連接真空泵。

2)真空要求:抽速:>1.7m3/h

3)*低氣壓:<=200mTorr.

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

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10分

易用性

10分

性價比

10分
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