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意大利樣本
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Heron系列全自動化等離子表面處理系統(tǒng)應(yīng)用于小型生產(chǎn)以及研發(fā)實(shí)驗(yàn)室使用。Heron 80是一款獨(dú)立式等離子系統(tǒng),專為表面清潔,改性,活化和蝕刻而設(shè)計(jì)。它可以在不同的材料上運(yùn)行,如金屬,塑料,陶瓷,紙張等。用戶友好的圖形界面與高效的射頻系統(tǒng)相結(jié)合,使Heron 80成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡單通用解決方案。
系統(tǒng)的技術(shù)描述
Heron 80是一款大尺寸獨(dú)立等離子系統(tǒng),專為表面清潔,改裝和激活而設(shè)計(jì)。它可以在不同的材料上運(yùn)行,如金屬,塑料,陶瓷,紙張等。下面描述的特性使Heron 80成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡單通用解決方案。
主機(jī)由不銹鋼制成,帶有可拆卸的后面板和側(cè)面板,便于維護(hù)或故障排除。外部裝飾是“輕刷”。它也可以安裝在帶有“穿墻”配置的潔凈室中。
Heron 80的控制系統(tǒng)基于配備觸摸屏HMI操作面板的先進(jìn)PLC。由于用戶友好的圖形界面,可以直接操作系統(tǒng)組件或讓PLC根據(jù)用戶可編輯的配方執(zhí)行過程。PLC具有快速掃描時間,可連續(xù)測量所有系統(tǒng)參數(shù),以確保均勻可靠的過程。無法避免的手動處理是裝載/卸載樣品的步驟。
Heron 80是等離子體反應(yīng)器[1]電容耦合并且包括圓柱形處理室,其內(nèi)部具有幾個同心籠電極。
他的處理室由鋁制成。由于表面上形成了天然的氧化鋁,鋁可以在許多工藝氣體(包括氟化蝕刻氣體)的存在下使用,這一特性使這些反應(yīng)器適用于大多數(shù)反應(yīng)等離子體環(huán)境(即蝕刻,灰化...)。沒有焊接可確保更好的密封,從而防止過程中的外部污染
產(chǎn)品特點(diǎn)
?成本低
?觸摸屏顯示提供實(shí)時的所有主要信息,出色的過程控制和快速分析
?能夠處理多達(dá)十種不同的可編輯配方
?一致結(jié)果的一致性
?數(shù)據(jù)記錄功能,頻率<0.5 Hz,用于過程的歷史條件
?出色的過程控制和長期可靠性和穩(wěn)定性
?使用的主要品牌組件,如真空計(jì)和質(zhì)量流量控制器(MKS儀器)
?射頻功率可在1W至600W范圍內(nèi)調(diào)節(jié)
技術(shù)規(guī)格
尺寸 寬 x 長 x 高 700 x 600 x 1750 mm
凈重 130 Kg (不含真空泵)
凈空 右,左,前 - 600mm,后 - 254mm
暫無數(shù)據(jù)!