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Heron系列全自動化等離子表面處理系統應用于小型生產以及研發(fā)實驗室使用。Heron 80是一款獨立式等離子系統，專為表面清潔，改性，活化和蝕刻而設計。它可以在不同的材料上運行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。用戶友好的圖形界面與高效的射頻系統相結合，使Heron 80成為小型生產或研發(fā)環(huán)境的簡單通用解決方案。

系統的技術描述

Heron 80是一款大尺寸獨立等離子系統，專為表面清潔，改裝和激活而設計。它可以在不同的材料上運行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。下面描述的特性使Heron 80成為小型生產或研發(fā)環(huán)境的簡單通用解決方案。

主機由不銹鋼制成，帶有可拆卸的后面板和側面板，便于維護或故障排除。外部裝飾是“輕刷”。它也可以安裝在帶有“穿墻”配置的潔凈室中。

Heron 80的控制系統基于配備觸摸屏HMI操作面板的先進PLC。由于用戶友好的圖形界面，可以直接操作系統組件或讓PLC根據用戶可編輯的配方執(zhí)行過程。PLC具有快速掃描時間，可連續(xù)測量所有系統參數，以確保均勻可靠的過程。無法避免的手動處理是裝載/卸載樣品的步驟。

Heron 80是等離子體反應器[1]電容耦合并且包括圓柱形處理室，其內部具有幾個同心籠電極。

他的處理室由鋁制成。由于表面上形成了天然的氧化鋁，鋁可以在許多工藝氣體（包括氟化蝕刻氣體）的存在下使用，這一特性使這些反應器適用于大多數反應等離子體環(huán)境（即蝕刻，灰化...）。沒有焊接可確保更好的密封，從而防止過程中的外部污染

產品特點

?成本低

?觸摸屏顯示提供實時的所有主要信息，出色的過程控制和快速分析

?能夠處理多達十種不同的可編輯配方

?一致結果的一致性

?數據記錄功能，頻率<0.5 Hz，用于過程的歷史條件

?出色的過程控制和長期可靠性和穩(wěn)定性

?使用的主要品牌組件，如真空計和質量流量控制器（MKS儀器）

?射頻功率可在1W至600W范圍內調節(jié)

技術規(guī)格

尺寸 寬 x 長 x 高 700 x 600 x 1750 mm

凈重 130 Kg （不含真空泵）

凈空 右，左，前 - 600mm，后 - 254mm