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歐洲原裝進(jìn)口RTP系列快速退火爐常被應(yīng)用在各類半導(dǎo)體處理工藝領(lǐng)域，尤其是針對(duì)4~8英寸以內(nèi)的單晶圓處理，JetFirst可以在客戶現(xiàn)場(chǎng)輕松升級(jí)，100mm輕松升級(jí)到可以處理200毫米晶圓的能力，具有交叉燈技術(shù)，可在晶圓上實(shí)現(xiàn)更好的溫度均勻性。
應(yīng)用范圍：
離子注入/接觸退火；
快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
SiAu，SiAl，SiMo等煉制合金；
低K電介質(zhì)；
后植入退火處理；
銅漿燒制；
電阻漿料燒制；
太陽能電池晶片鍵合工藝；
LTO鈦酸鋰材料制備；
晶體化，致密化；
不銹鋼冷腔室壁優(yōu)點(diǎn)
工藝重復(fù)性高；
高冷卻速率，低記憶效應(yīng)；
高溫計(jì)和熱電偶控制；
快速數(shù)字PID溫度控制器；
超清潔無污染的環(huán)境；
無金屬和無交叉污染
暫無數(shù)據(jù)！
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