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型號(hào)

CPS-25-CF-HV

CPS-100-CF-77K

CPS-CF

CPS-150-LN2/LHe-HV

樣片尺寸

25mm、50mm、100mm

50mm

175mm

熱規(guī)格

循環(huán)制冷機(jī)（型號(hào)204N），包括冷頭，壓縮機(jī)，制冷機(jī)和氦軟管

液氮或液氦

溫度范圍

10K-480K

77K-480K

4.5K-480K，6.5K-480K，10K-480K

5K-480K

控溫精度

0.1K

溫度偏差

100k以下±50 mK

-

250k以下±50 mK

溫度分辨

0.001K

-

0.001K

熱錨探頭和輻射屏蔽

溫控（加熱）盤(pán)

夾頭和探針臂的溫度監(jiān)控

輻射屏蔽的溫度監(jiān)測(cè)是可選

型號(hào)

CPS-25-CF-HV

CPS-100-CF-77K

CPS-CF

CPS-150-LN2/LHe-HV

真空

基礎(chǔ)壓力較好可達(dá)1.0×10-5torr，在室溫下用適當(dāng)?shù)恼婵毡眠x擇，可以到10-6torr

基礎(chǔ)系統(tǒng)

包括氣體端口和壓力釋放閥

-

可視窗口

可根據(jù)客戶要求添加

窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂層等可選

光學(xué)系統(tǒng)

變焦70系統(tǒng)（4UM分辨率）標(biāo)準(zhǔn)，125或160變焦系統(tǒng)可作為選配件，以及獲得更經(jīng)濟(jì)的解決方案

照明系統(tǒng)

同軸和環(huán)形照明LED照明

同軸LED照明

同軸和環(huán)形照明LED照明

快門(mén)冷卻

可選快門(mén)冷卻

無(wú)論是吊桿安裝或底座安裝都保證XY或XYZ的精細(xì)分辨率

-

攝像頭

從1百萬(wàn)像素到1k萬(wàn)像素。包括相機(jī)的圖像和視頻捕捉和尺寸測(cè)量能力的軟件

探針

DC（同軸或三軸）

RF (多方向的)

微操作

各種分辨率（40 TPI或3mm的標(biāo)準(zhǔn)，更高的分辨率可與額外費(fèi)用）和范圍（2“×1”X0.5“，4”×1“X0.5”或4“X1.75”×0.5“）可用

-

各種分辨率（40 TPI或3mm的標(biāo)準(zhǔn)，更高的分辨率可與額外費(fèi)用）和范圍（2“×1”X0.5“，4”×1“X0.5”或4“X1.75”×0.5“）可用

電纜

- 低溫溫度

- 兼容同軸電纜

- 低溫下兼容三軸電纜

- 低溫射頻電纜

- 低溫非磁性射頻電纜

-低溫溫度

- 兼容同軸電纜

- 低溫下兼容三軸電纜

- 低溫溫度

- 兼容同軸電纜

- 低溫下兼容三軸電纜

- 低溫射頻電纜

- 低溫非磁性射頻電纜

晶圓卡片

-接地

-分離

- 同軸

- 三軸

軟件

基于LabVIEW的開(kāi)放源軟件

震動(dòng)隔離

具有空氣阻尼系統(tǒng)的隔振臺(tái)

隔振波紋管

震動(dòng)偏差

小于1um

小于30nm

選配項(xiàng)

-

-

光纖探針

- 定制的高電平到客戶的需求

-