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臺(tái)式小型機(jī),PLC人機(jī)自動(dòng)控制,簡單易用,適用于實(shí)驗(yàn)室及小批量工業(yè)生產(chǎn)中材料表面清洗、蝕刻、活化等工藝。
提供三種功能配置:
1. 常規(guī)的等離子清洗和等離子刻蝕
2. 反應(yīng)離子刻蝕(RIE)
3. 可轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)(包含可以進(jìn)行各向同性和各向異性的等離子工藝)可拆卸的托盤構(gòu)造。
等離子刻蝕機(jī)技術(shù)參數(shù):
設(shè)備型號(hào):PE-100
腔體尺寸:長方形腔體,長度305 x深度368 x高度305mm;
腔體材質(zhì):T-6鋁合金一體成型;
腔體容積:34升;
射頻電源:13.56MHz;0~300W自動(dòng)調(diào)節(jié);
工作壓力范圍:1-2000 mT;
氣體流量控制:0-50cc/min帶精密針閥;
皮拉尼真空計(jì): 0-1Torr;
暫無數(shù)據(jù)!