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CPS-25-CF-HV-10K

無(wú)氦低溫探測(cè)臺(tái)

用于10K到460K

成本效益，穩(wěn)定，可靠，使用方便可達(dá)25mm直徑的晶片

- 溫度范圍從4.5K到470K（0.1K或更好的精度和穩(wěn)定性）

- 閉環(huán)循環(huán)制冷機(jī)

- 高達(dá)25mmx25mm樣品表征

- 選擇DC至67GHz的測(cè)量與合適的探頭

- 4 微控探針臂（*多8個(gè)，可以在可選的配置），以高度準(zhǔn)確的XYZ和任選θ調(diào)整，具有可達(dá)4英寸X，1.75英寸Y和0.5的英寸Z

- 熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

- 改進(jìn)真空等度的組件的

- 方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動(dòng)阻尼

- 定制的高水平，以適應(yīng)各種的探測(cè)需求

詳細(xì)參數(shù)

可達(dá)25mm，50mm以上100毫米

無(wú)液氦閉路循環(huán)制冷機(jī)，包括冷頭，壓縮機(jī)，制冷機(jī)和氦軟管

溫度范圍：低于10K到480K

控溫精度：0.1K

溫度分辨率：0.001K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

chuck溫控（加熱）盤(pán)

變焦70系統(tǒng)（4UM分辨率）標(biāo)準(zhǔn)，縮小125或160變焦系統(tǒng)可作為選件，以及更便宜的解決方案

同軸和環(huán)形照明LED照明

數(shù)碼相機(jī)從100萬(wàn)像素到10百萬(wàn)像素附帶相機(jī)的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測(cè)量能力

軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)控制和溫度監(jiān)控。幾個(gè)溫度測(cè)試序列是預(yù)編程和定制序列可以由*終用戶(hù)很容易地編程

CPS-100-CF-77K

無(wú)氦低溫探針臺(tái)對(duì)于晶圓級(jí)測(cè)試在77K至480K

- 成本效益，穩(wěn)定，可靠，方便使用可達(dá)100mm直徑的晶片

- 溫度范圍從4.5K到480K（0.1K精度）

- 閉環(huán)循環(huán)制冷機(jī)

- 高達(dá)2英寸直徑的表征樣品

- 選擇DC至67GHz的測(cè)量與適當(dāng)?shù)奶筋^

- 4 微控探針臂（*多8個(gè)，可以在可選的配置），以高度準(zhǔn)確的XYZ和任選θ調(diào)整，具有*多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z

- 熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動(dòng)阻尼

- 定制的高水平，以適應(yīng)各種的探測(cè)需求

詳細(xì)參數(shù)

可達(dá)25mm，50mm以上100毫米

無(wú)液氦封閉循環(huán)制冷機(jī)包括冷頭，壓縮機(jī)，制冷機(jī)和氦要求軟管

低于77K到480K

控溫精度：0.1K

溫度分辨率：0.001K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

chuck溫控（加熱）盤(pán)

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂層可

變焦70系統(tǒng)（4UM分辨率）標(biāo)準(zhǔn)，縮小125或160變焦系統(tǒng)可作為選件，以及更便宜的解決方案

同軸和環(huán)形照明LED照明

數(shù)碼相機(jī)從100萬(wàn)像素到10百萬(wàn)像素附帶相機(jī)的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測(cè)量能力

軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)控制和溫度監(jiān)控。幾個(gè)溫度測(cè)試序列是預(yù)編程和定制序列可以由*終用戶(hù)很容易地編程

CPS-150-LN2/LHe-HV

液體低溫探針臺(tái)適合全片的測(cè)試在5K至460K范圍

具有成本低，穩(wěn)定，可靠，方便使用等特點(diǎn)

可達(dá)150mm直徑的晶片

- 溫度范圍從4.5K到470K（0.1K或更好的精度和穩(wěn)定性，優(yōu)于在低于250K50mK穩(wěn)定性）無(wú)論是用液氮或液氦冷卻均可兼容

- 選擇DC到110GHz的測(cè)量與合適的探頭

- 4 微控探針臂（*多8個(gè)，可以在可選的配置），以高度準(zhǔn)確的XYZ和任選θ調(diào)整，具有*多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z

- 熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動(dòng)阻尼

- 定制的高水平，以適應(yīng)各種的探測(cè)需求

- 電動(dòng)XY，XYZ或XYZ?夾頭位置調(diào)整作為選項(xiàng)帶有不同的范圍和分辨率

詳細(xì)參數(shù)

175毫米D，*多3個(gè)輔助夾頭可以安裝

液氮或液氦冷卻

溫度范圍：5K至480K可用

控溫精度：0.1K

溫度分辨率：0.001K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂層可

同軸和環(huán)形照明LED照明

數(shù)碼相機(jī)從100萬(wàn)像素到10百萬(wàn)像素附帶相機(jī)的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測(cè)量能力

隔振

- 空氣減震系統(tǒng)隔振表

- 無(wú)振動(dòng)隔離波紋管

- 在卡盤(pán)振動(dòng)<30nm

CPS-CF

無(wú)氦低溫探針臺(tái)

CPS-CF成本低，穩(wěn)定，可靠，方便在非常低的溫度對(duì)器件和電路的探測(cè)。內(nèi)置隔振，智能熱管理和工程熱補(bǔ)償，使這個(gè)系統(tǒng)非常適用于廣泛的納米電子學(xué)，從跨越應(yīng)用程序（石墨烯研究，分子電子學(xué)等）。該系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專(zhuān)有的熱管理，具有經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置隔振的振動(dòng)*小化符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的水平。超穩(wěn)定的微操縱階段允許在設(shè)備功能的探針尖端的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。探頭和硅片夾的多種選擇允許應(yīng)用程序超精密，FA-規(guī)模的測(cè)量，射頻測(cè)量等等

具有成本低，穩(wěn)定，可靠，方便的使用的優(yōu)點(diǎn)

- 溫度范圍從4.5K到480K（0.1K精度）

- 閉環(huán)循環(huán)制冷機(jī)成本低

- 高達(dá)2英寸的直徑樣品

- DC至67GHz的測(cè)量

- 4 微控探頭臂（*多8個(gè)提供選裝配置），高度精確的XYZ和可選θ調(diào)整

-熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動(dòng)阻尼

- 定制的高水平，以適應(yīng)各種的探測(cè)需求

詳細(xì)參數(shù)

可達(dá)50mm

無(wú)液氦封閉循環(huán)制冷機(jī)包括冷頭，壓縮機(jī)，制冷機(jī)和氦要求軟管

溫度范圍：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K

控溫精度：0.1K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

chuck溫控（加熱）盤(pán)

夾頭和探針臂的溫度監(jiān)控

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂層

變焦70系統(tǒng)（4UM分辨率）標(biāo)準(zhǔn)，縮小125或160變焦系統(tǒng)可作為選件，以及更便宜的解決方案

同軸LED照明

數(shù)碼相機(jī)從100萬(wàn)像素到10百萬(wàn)像素附帶相機(jī)的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測(cè)量能力

基于LabVIEW的軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)控制和溫度監(jiān)控，可以由*終用戶(hù)很容易地編程

空氣減震系統(tǒng)隔振表

- 無(wú)振動(dòng)隔離波紋管

低溫探針臺(tái)的特點(diǎn)：

全自動(dòng)真空探針臺(tái)由美國(guó)MicroXact公司生產(chǎn)，該探針臺(tái)通過(guò)真空系統(tǒng)、氣體壓力系統(tǒng)及自動(dòng)化軟件實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)真空腔內(nèi)真空度的精確控制，通過(guò)光學(xué)顯微鏡及搭配的數(shù)字成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)試晶圓影像的捕捉及存儲(chǔ)，并通過(guò)軟件控制自動(dòng)馬達(dá)根據(jù)設(shè)定程序?qū)崿F(xiàn)晶圓測(cè)試過(guò)程中的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)及移動(dòng)測(cè)試功能。同時(shí)配置的變溫載物臺(tái)通過(guò)加熱和冷卻裝置實(shí)現(xiàn)樣品的變溫測(cè)試目的