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技術規(guī)格：
- 單腔體或者多腔體(Cluster);
- 襯底尺寸：10cm x 10cm ~ 30cm x 30cm;
- 襯底類型：剛性(沉積時振蕩)，柔性(Reel - Reel);
- 燈絲類型：石墨(美國**#6214706， #6427622)，傳統(tǒng)燈絲;
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