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15KW碟型腔4英寸單晶多晶生長直徑的MPCVD設(shè)備
15KW碟型腔4英寸單晶多晶生長直徑的MPCVD設(shè)備

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型號

15KW碟型腔4英寸單晶多晶生長直徑的MPCVD設(shè)備

品牌

海光智能

產(chǎn)地

廣東

樣本

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佛山市海光智能科技有限公司

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15KW碟型腔4英寸單晶多晶生長直徑的MPCVD設(shè)備,101顆7*7mm晶種

微波功率調(diào)節(jié)連續(xù)平緩,沉積溫度可以連續(xù)穩(wěn)定變化。

沉積反應(yīng)室的結(jié)構(gòu)調(diào)整,沉積腔中產(chǎn)生大面積又穩(wěn)定的等離子體球可以大面積均勻沉積。

適應(yīng)不同尺寸和形狀的襯底,較高的靈活性,通過調(diào)整工藝參數(shù),如高硬度、高熱導(dǎo)率、高透光性等。

通過升級或擴(kuò)展來實現(xiàn)更大規(guī)模的生產(chǎn),提高了設(shè)備的利用率和****率。


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